用于扩展干涉仪的Shack-Hartmann波前探测技术研究

发布时间：2024-09-17 17:15

　　将Shack-Hartmann波前探测技术应用在扩展干涉仪的波前探测中,可以弥补现有干涉仪技术在特定情况下不能同时满足动态范围大、灵敏度高需求的不足。ShackHartmann波前传感器作为波前探测领域应用最为广泛的波前探测器之一,采用微透镜阵列对波面进行采样,定位各子光斑位置,通过各子光斑的偏移量计算局部的波前斜率,求解得出波前梯度值,实现波前复原。探测光斑位置是斜率计算的首要步骤,其探测的精准与否直接影响着波前探测的准确性,而波面复原的速度也直接关系着波前探测的实时性。然而,传感器的随机噪声和离散采样,不可避免地会对光斑偏移量的估计带来误差,降低斜率测量的准确度,进而影响探测波前的精度。因此,本文的研究目的就是寻求一种高精度大动态范围测量且可以瞬态检测的Shack-Hartmann波前探测技术,以扩展干涉仪的波前测量。本文的主要研究内容如下:首先确定了Shack-Hartmann波前探测技术扩展干涉仪波前探测的具体方案,设计并搭建扩展干涉仪波前探测的系统;接着综合Shack-Hartmann波前传感器中灵敏度与动态范围相互制约的问题,确定了Shack-Hartmann波前传感器参数,...

【文章页数】：71 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1.1夏克-哈特基于激光干涉技术探测波前相位也较为

追胖迷诠庠从氡?检测的物镜之间，平行光束照射物镜发生反射，反射光束经过小孔光阑后，被分割成一个个的子光束。作为哈特曼波前传感技术的研究者，将其设计的小孔光阑称为哈特曼光阑[6]-[7]。1971年，RolandShack在经典哈特曼波前探测技术的理论基础上，将哈特曼光阑上面分布的....

图1.2横向剪切干涉仪基本原理

第1章绪论3学者J.Primot等人通过改进哈特曼掩膜板提出四波横向剪切干涉技术[13]（图1.4），通常利用二维光栅将待测波前分为四个子光束，使这四个子光束发生横向剪切干涉，与传统的剪切干涉仪相比虽然精度有所提高，但是测得的图像不具有直观性，不易分析。2014年，中科院西安研究....

图1.5相位差法波前探测器基本原理

第1章绪论4图1.4四波横向剪切干涉仪基本原理相位差法测波前的技术于1979年Gonsalves等学者第一次提出，图1.5为其基本原理[15]。此项技术既可以测量点目标也可以测量扩展目标，既可以测量脉冲型激光也可以测量连续型激光，具有结构简单易操作等优点。但是与其他波前探测方法比....

图1.4四波横向剪切干涉仪基本原理

第1章绪论4图1.4四波横向剪切干涉仪基本原理相位差法测波前的技术于1979年Gonsalves等学者第一次提出，图1.5为其基本原理[15]。此项技术既可以测量点目标也可以测量扩展目标，既可以测量脉冲型激光也可以测量连续型激光，具有结构简单易操作等优点。但是与其他波前探测方法比....

本文编号：4005779