低功耗微型磁通门的制备与分析

发布时间：2017-07-17 14:32

  本文关键词：低功耗微型磁通门的制备与分析

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【摘要】：针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器。经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能。通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数。
【作者单位】： 河南理工大学电气工程与自动化学院;西北工业大学电子信息学院;焦作师范高等专科学校理工学院;
【关键词】： 多孔铁芯 微型磁通门 MEMS 低功耗
【基金】：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20126102110031)
【分类号】：TP212
【正文快照】： 磁通门传感器是一种具有良好综合性能的弱磁场测量器件[1],在航空航天、地球物理、生物磁场检测等领域有着广泛应用。得益于近年来MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技术的提高,微型磁通门因其尺寸小,易于集成的优点逐渐受到关注。微型磁通门虽然缩减了器件的尺寸,但由

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本文编号：554074