一种具有力传感的微夹持器设计与标定
本文关键词:一种具有力传感的微夹持器设计与标定
【摘要】:为了避免微夹持器在夹持微小对象过程中对其造成损伤或脱落,要求对夹持力进行预测和控制。提出了一种将电阻式应变片集成于微夹持器结构实现结构-传感一体化设计。以夹持力产生的应变最大、压电陶瓷驱动力产生的应变最小为目标对传感单元的尺寸参数进行优化设计。采用最小二乘方法分别标定压电驱动器输入电压、夹持力与力传感单元应变之间的关系。结果表明,描述驱动电压与传感单元应变的关系为3阶多项式,力传感单元应变与夹持力之间的关系为线性关系。可得出夹持力与驱动电压之间的关系为3阶多项式,利用该关系式可实现预测和控制夹持力。所提出的设计思路和标定方法为微夹持器设计提供一种新思路。
【作者单位】: 江西理工大学机电工程学院;
【关键词】: 微夹持器 电阻应变片 力传感 夹持力 标定
【基金】:国家自然科学基金(51265016,51565016)资助项目
【分类号】:TP212
【正文快照】: 1引言微夹持器是微操作的末端执行器[1-2],具有微纳米级的操作精度,广泛应用于微机电系统(MEMS)组装、生物细胞工程、精密仪器、光纤对接及光学调焦等前沿领域具有广阔的应用前景。如在微机电系统领域中,微夹持器可用于抓取和装配微构件[3];在生物工程领域,微夹持器可用于抓取
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