基于氧化铝陶瓷的无线无源湿度传感器的制备和测试

发布时间：2017-10-06 10:07

  本文关键词：基于氧化铝陶瓷的无线无源湿度传感器的制备和测试

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【摘要】：通过湿度感应技术与近场电磁耦合原理相结合,构成了基于氧化铝陶瓷的无线无源湿度传感系统。此传感器包含叉指电容与电感线圈构成的LC谐振电路和由聚酰亚胺薄膜构成的湿敏结构。当聚酰亚胺薄膜吸收水分子后,聚酰亚胺和水组成的复合体系的介电常数发生变化,导致LC电路的谐振频率发生改变,通过读取天线将传感器频率信号读取出来。搭建湿度测试平台对传感器进行测试,结果表明传感器的谐振频率随着密闭环境中空气湿度的线性增大而呈线性减小的趋势。当湿度从50%RH变化到88%RH的时候,传感器谐振频率从113.712 1 MHz变化到92.311 5 MHz,灵敏度为0.545MHz/%RH。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室和仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】： 无线无源 谐振频率 聚酰亚胺 湿度
【基金】：国家自然科学基金(61471324)资助
【分类号】：TP212
【正文快照】： 湿度是空气中含有水蒸气的量的一种重要标志,它与人类的生活息息相关。随着科学技术的进步和工农业生产的发展,人类开始意识到对湿度进行测量和监控的重要性。1991年Sakai等提出了一种交联PMMA电容式湿度传感器[1],1995年Sakai等人接着用聚砜类物质作为湿敏材料,制造出了能够

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