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121. 振动环境下
MEMS
陀螺动态误差补偿方法
122. 基于宏模型技术的
MEMS
系统级仿真研究
123. 基于FP
G
A的
MEMS
陀螺阵列信号采集系统
124. 表面工艺静电驱动
MEMS
变形镜关键技术研究
125. 基于
MEMS
/
G
PS的航向姿态测量系统设计
126.
MEMS
穿孔板微执行器Pull
127. 基于电热驱动的
MEMS
继电器的研制
128.
MEMS
陀螺仪组合系统及滤波算法设计
129. 基于
MEMS
的皮拉尼真空压力计研究
130.
MEMS
数字陀螺中开关电容检测电路的设计
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