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264. MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿技术的研究

265. MEMS捷联惯导减振系统设计方法研究

266. 参数激励法提高MEMS环式陀螺性能的研究

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269. 用于生物超快电镜的MEMS实验腔研究

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