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301. 基于ADIS16488
MEMS
惯性组合姿态测量设计与研究
302. Bimorph结构
MEMS
微镜热驱动性能分析研究
303. 基于
MEMS
惯性传感器的空中输入笔研究
304.
MEMS
惯性器件的数据采集与误差分析技术研究
305. 压电式
MEMS
仿生结构矢量水声传感器的研制
306.
MEMS
加速度传感器标定系统软件的设计
307. 新型
MEMS
压电谐振器若干问题的仿真与研究
308. 一种低成本自适应的
MEMS
陀螺温度补偿方法
309. 三轴
MEMS
陀螺井下寻北的旋转在线校准研究
310. 基于
MEMS
技术的载体催化甲烷检测元件制作方法
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