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371. MEMS陀螺仪误差机理分析及测试方法研究

372. 基于MEMS陀螺仪的电子稳像算法研究

373. 用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现

374. 基于微电铸工艺的低应力MEMS安保机构制作

375. 一种MEMS加速度计的动力学特性测试研究

376. 基于多MEMS惯性传感器的步态分析与研究

377. MEMS甲烷传感器特性表征系统的设计与实现

378. 基于SysML的MEMS产品概念设计方法研究

379. 基于MEMS微镜扫描的三维激光雷达样机系统设计

380. 基于微观尺寸穿孔结构的MEMS器件下拉现象的研究

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