高精度MEMS微惯性姿态系统的设计与实现
【图文】:
南华大学硕士学位论文1988 年,,美国 Draper 实验室采用平板电容驱动和检测闭环方法成功研制出第一款 MEMS 陀螺仪[2],虽然该陀螺仪各项性能指标不太理想,但从此拉开了微机械陀螺研究序幕。2011 年,美国 ADI 公司[3]总结前人的经验成功研制出了陀螺仪 ADIS16488,该陀螺仪量程为±450deg/s,零偏稳定性为 3.5deg/h,封装如图 1.1 所示。同年,挪威 Sensonor 公司[4]也研制了一款型号为 STIM202 陀螺仪,其具有极强的严酷环境耐受力和卓越的抗震能力,量程为±400deg/s,零偏稳定性为 0.5deg/h,体积小、功耗低并在全工作范围内设置有温度补偿,封装如图 1.2 所示。
南华大学硕士学位论文1988 年,美国 Draper 实验室采用平板电容驱动和检测闭环方法成功研制出第一款 MEMS 陀螺仪[2],虽然该陀螺仪各项性能指标不太理想,但从此拉开了微机械陀螺研究序幕。2011 年,美国 ADI 公司[3]总结前人的经验成功研制出了陀螺仪 ADIS16488,该陀螺仪量程为±450deg/s,零偏稳定性为 3.5deg/h,封装如图 1.1 所示。同年,挪威 Sensonor 公司[4]也研制了一款型号为 STIM202 陀螺仪,其具有极强的严酷环境耐受力和卓越的抗震能力,量程为±400deg/s,零偏稳定性为 0.5deg/h,体积小、功耗低并在全工作范围内设置有温度补偿,封装如图 1.2 所示。
【学位授予单位】:南华大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TH122
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