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371.
MEMS
陀螺仪误差机理分析及测试方法研究
372. 基于
MEMS
陀螺仪的电子稳像算法研究
373. 用于
MEMS
气体传感器的检测芯片设计与实现
374. 基于微电铸工艺的低应力
MEMS
安保机构制作
375. 一种
MEMS
加速度计的动力学特性测试研究
376. 基于多
MEMS
惯性传感器的步态分析与研究
377.
MEMS
甲烷传感器特性表征系统的设计与实现
378. 基于SysML的
MEMS
产品概念设计方法研究
379. 基于
MEMS
微镜扫描的三维激光雷达样机系统设计
380. 基于微观尺寸穿孔结构的
MEMS
器件下拉现象的研究
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