基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测技术的研究
发布时间：2020-06-19 16:57
【摘要】：随着科技与社会的发展,精密、超精密光学系统应用日益广泛。光学元件表面疵病是影响光学系统外观和性能的主要因素之一。光学元件表面疵病的高精度检测是实现光学系统精密、超精密加工的关键之一。本论文分析了现有光学元件表面疵病检测技术国内外研发现状,针对现有检测技术可测疵病数量少和检测精度低的不足,基于光学元件表面散射成像技术和多光谱技术,提出了多光谱光学元件表面疵病检测技术。在此基础上,设计和搭建了一套多光谱光学元件表面疵病检测系统。利用该系统进行的比对实验表明,采用多光谱光学显微散射成像和多光谱图像融合技术,可以明显提高光学元件表面疵病的可测数量和检测精度。针对低对比度图像中疵病边缘特征难以提取的问题,提出采用各向异性扩散滤波算法改进传统Canny边缘检测法中的滤波算法。实验结果表明,采用改进的算法,可以精确提取低对比度图像中疵病边缘,提取效果优于传统算法。
【学位授予单位】：浙江大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TP391.41;TL632.1
【图文】：
绪论逡逑伤阀值，极易导致NB学元件受到激光损伤，对系统造成危害，导致系统不能正常运行Ｗ。逡逑ＮW'系统基本光路如图１．２所示。逡逑Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ逡逑Ｐｏｗｅｒ逦却邋ｓｔｉ＂逡逑Ａ端＂Ｓ邋}B匈逡逑＾Ｐｏｉａｒｉｉｔｒ逦Ａｓｓｅｍｂｌｙ逡逑图１．２ＮＩＦ基本光路围逡逑随着激光能量密度的增加，激光损伤区域会不断增加，在Ｎ正系统王倍频段的激光能逡逑量密度最高为１０／／0ｎ２，表面疵病降低材料激光损伤阀值是限制系统激光能量密度的主要逡逑因素之一。激光损伤区域随激光能量密度的变化如图１．３所示。逡逑４邋６ｗ‘ｃｍ＇逦５邋６Ｊ化ｍ＊－逦７邋６Ｊ／《：讯？逦TB．＂Ｕ／ｃｍ；逡逑n姦恟！ｇ楩！y椋簦椋殄义希保卞澹矗剩铮恚掊危玻由剑悖恚у巍鲥澹㈠澹В澹у危保福保剩族危义厦笱酰唬珏义贤迹保臣す馑鹕饲蝈义瞎庋г砻娲貌〔唤龌岫愿吖β使烫寮す庾爸玫脑诵胁：Γ酥饣乖谄渌义戏矫娌宋：Γ哄义希慷杂谄胀ü庋低橙缦允酒粒障嗷龋庋г砻娲貌』岫云渫夤鄄跋欤义鲜腔静换岫韵低车墓δ懿：Αｅ义希慷杂冢缀焱庖故酉低澄淼墓庋低常庋г砻娲貌』峤档拖低车男旁氡取Ｓ慑义嫌诠庋г砻娲貌〉某叽缡拷饰⒚祝焱獠ǔね⒚琢考丁８荩停椋迳⑸溴义侠砺
本文编号：2721081
【学位授予单位】：浙江大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TP391.41;TL632.1
【图文】：
绪论逡逑伤阀值，极易导致NB学元件受到激光损伤，对系统造成危害，导致系统不能正常运行Ｗ。逡逑ＮW'系统基本光路如图１．２所示。逡逑Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ逡逑Ｐｏｗｅｒ逦却邋ｓｔｉ＂逡逑Ａ端＂Ｓ邋}B匈逡逑＾Ｐｏｉａｒｉｉｔｒ逦Ａｓｓｅｍｂｌｙ逡逑图１．２ＮＩＦ基本光路围逡逑随着激光能量密度的增加，激光损伤区域会不断增加，在Ｎ正系统王倍频段的激光能逡逑量密度最高为１０／／0ｎ２，表面疵病降低材料激光损伤阀值是限制系统激光能量密度的主要逡逑因素之一。激光损伤区域随激光能量密度的变化如图１．３所示。逡逑４邋６ｗ‘ｃｍ＇逦５邋６Ｊ化ｍ＊－逦７邋６Ｊ／《：讯？逦TB．＂Ｕ／ｃｍ；逡逑n姦恟！ｇ楩！y椋簦椋殄义希保卞澹矗剩铮恚掊危玻由剑悖恚у巍鲥澹㈠澹В澹у危保福保剩族危义厦笱酰唬珏义贤迹保臣す馑鹕饲蝈义瞎庋г砻娲貌〔唤龌岫愿吖β使烫寮す庾爸玫脑诵胁：Γ酥饣乖谄渌义戏矫娌宋：Γ哄义希慷杂谄胀ü庋低橙缦允酒粒障嗷龋庋г砻娲貌』岫云渫夤鄄跋欤义鲜腔静换岫韵低车墓δ懿：Αｅ义希慷杂冢缀焱庖故酉低澄淼墓庋低常庋г砻娲貌』峤档拖低车男旁氡取Ｓ慑义嫌诠庋г砻娲貌〉某叽缡拷饰⒚祝焱獠ǔね⒚琢考丁８荩停椋迳⑸溴义侠砺
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