脉冲磁控溅射MoS 2 -Ti涂层常温及高温真空摩擦磨损性能

发布时间：2023-11-04 16:20

　　利用脉冲磁控溅射法,以铝青铜合金(C63200)和硅片为基底,制作不同Ti含量的MoS₂-Ti复合涂层。通过XRD、SEM、EDS、光学显微镜、多环境摩擦试验机等表征了涂层的结构成分和摩擦性能。结果表明:随Ti含量的增加,涂层致密度提升,S、Mo原子比上升。Ti的掺入使涂层由高度结晶态向非晶态转变。Ti含量增加,涂层摩擦磨损性能先上升再下降,常温真空下含3%Ti的涂层拥有稳定和低至0.015的摩擦系数,23%Ti的涂层失去润滑性。温度升高到400℃,涂层摩擦系数由0.015～0.04上升至0.07～0.1,含13%Ti的涂层高温真空下在800s后润滑失效。磨痕形貌显示,含3%Ti的涂层磨痕最窄,温度升高宽度增加不大,含13%Ti的涂层磨损严重,400℃真空环境下很快磨穿,纯MoS₂和13%Ti涂层摩擦时发现大量磨粒和破碎磨屑。

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 实验方法和材料
    2.1 涂层制备
    2.2 结构表征和性能测试
3 实验结果和讨论
    3.1 形貌及成分
    3.2 组织结构
    3.3 常温真空摩擦性能
    3.4 高温真空摩擦性能
    3.5 摩擦后磨痕及形貌
4 结论



本文编号：3860651