基于SiPM测量的表面污染仪的研制
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【学位级别】:硕士
【部分图文】:
图2.1?MRS结构??最早的SiPM结构是由俄罗斯科学家提出研究的MRS结构%如图2.1所示
P*-Si区?叱-S像素N+-Si区?N-Si晶片??图2.1?MRS结构??最早的SiPM结构是由俄罗斯科学家提出研究的MRS结构%如图2.1所示。这种??结构的APD淬灭电阻是由透明SiC膜组成,其通光窗格及各单元互联线是由半透明金??属膜组成,但是这种结构制作难度大、使用效....
图2.3利用体电阻进行淬灭的SiPM结构??第三种是利用体电阻进行淬灭的SiPM结构
s\—y<X??图2.2负反馈效应模型结构??这种负反馈效应模型结构的亮点在于减少了在硅片表面制作多晶硅条的复杂工艺,??使得光子探测效率升高。但是该种结构的APD单元的恢复时间较长,而且正常工作的??电压变化范围太窄,工作稳定性不高。??边缘电场区域?高电场区域?Si02?电极....
图2.2负反馈效应模型结构??
I??背面电极??图2.3利用体电阻进行淬灭的SiPM结构??第三种是利用体电阻进行淬灭的SiPM结构。在国际上这种SiPM最先由北京师范??大学韩德俊教授领导的研究小组研制成功[|61。其结构如图2.3所示,该种结构利用硅衬??底的体电阻自身特性对APD单元进行淬灭,大大简化了....
图2.4P一结原理示意图
该器件在室温下的暗脉冲计数率约为1.5MHz,同时效率在460nm的峰值处达到25.6%。??上,对硅光电倍增管的结构设计己较为成熟,爱尔兰、日和研究院所推出了这类产品。SensL,滨松等企业生产的物理、核医学仪器以及射线探测领域得到了实践验证。??工作原理??于P-N结的半导体....
本文编号:3906968
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