PLC与触摸屏在磁控溅射镀膜机中的应用

发布时间：2021-04-22 09:09

　　传统磁控溅射镀膜机控制系统主要由单片机、继电器控制构成,操作过程主要依靠人工完成,效率低,且不具备安全互锁、数据采集等功能。现研制的自动磁控溅射镀膜设备以欧姆龙PLC为主控制器,配合MCGS触摸屏实现了磁控溅射镀膜工艺的自动化控制,磁控溅射控制过程采用流程控制算法,整个控制系统安全可靠,具备安全互锁、数据采集、故障报警、参数更改等功能,实现了镀膜工艺的自动化生产。 

【文章来源】：机电信息. 2019,(26)

【文章页数】：2 页

【文章目录】：
0 引言
1 磁控溅射镀膜工艺与设备组成
    1.1 磁控溅射镀膜工艺流程
    1.2 磁控溅射镀膜机的设备组成
2 电气控制系统
3 结语


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计[J]. 杨晓东,柳森娟,刘锋敏.  科技情报开发与经济. 2009(31)

硕士论文
[1]软件交互界面的人机工程学研究和评估[D]. 黄坤.东华大学 2006



本文编号：3153506