基于碳纳米管薄膜热声光声特性及蜃景效应的理论研究和数值分析
发布时间:2017-11-01 05:22
本文关键词:基于碳纳米管薄膜热声光声特性及蜃景效应的理论研究和数值分析
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【摘要】:1.热声技术的发展 现在广泛使用的扬声器是由连着锥形纸盆的刚性结构,能够沿着永磁体中心圆柱形空隙作轴向振动的音圈以及其它辅助支撑系统构成。当一个音频电流作用于音圈,则产生一个可变电磁场。这个可变电磁场与永磁体的磁场相互作用会产生驱动力使音圈按照音频电流的输入频率振动,从而复原原始音频信号。然而,基于动态机械驱动的传统扬声器的频率特性是欠优的。这种扬声器的响应频率带宽相对较窄,因此很难调整它们的频率范围。响应频带宽度是受最大响应频率所制约的,因而会受扬声器的尺寸所限制。其他类型的扬声器有压电扬声器[3,4]和静电扬声器[5-7]。压电扬声器的频响特性也是受到限制的,这点和动态机械驱动的扬声器一样。自从Hanna[5]首次介绍静电扬声器的概念已经经历了80多年,由于其存在固有的缺陷,所以静电扬声器并没有受到过多的关注。事实上,静电扬声器的隔膜偏移是非常有限,所以要到达到较高的声压输出和效率转换,作用到静电扬声器的电压必须非常高,从而增加了电弧产生的概率,这样就大大降低了设备的安全性。此外,随着电场强度的增加,尘埃粒子更容易被扬声器所吸引,因此静电扬声器的性能的稳定性也存在潜在的威胁。 热声扬声器的概念是大约一个世纪前首次由Arnold和Crandall提出[8]。热声扬声器设备的物理机制与传统的扬声器有很大区别,传统的扬声器是通过膜的机械振动而产生声音。热声扬声器则是由围绕在薄膜导体周围的介质在电能作用下被周期性加热从而产生温度波动导致的[9]。因为热声扬声器的频率响应范围很宽,因此热声扬声器的出现大大简化了扬声器的设计[10]。Arnold和Crandall[8]曾经就热声扬声器做了一系列实验,同时也推导出了一种用以解释其实验结果的理论模型。在他们实验中,他们使用的是700纳米厚的铂金薄膜,但是只有很微弱的声音信号被扑捉到。这是由于他们使用的铂金薄膜的单位面积热容(HCPUA)很高,因此其电声转换效率很低,所以输出的声信号很微弱。由于在上个世纪,单位面积热容小的材料很难制造,因此热声技术发展继Arnold和Crandall的研究之后停滞了几十年。近年来,随着纳米技术出现和快速发展以及先进的纳米加工技术的日益成熟,为热声装置的制作和发展奠定了坚实的基础[9]。特别是Iijima[11,12]发现的碳纳米管材料为热声学的发展铺平了道路。碳纳米管具有独特的机械强度[13-18]、导电性[19,20]、导热性[21-25]和光热转化率[26-34]以及其他优良属性。由于纳米材料的发现以及热声扬声器的固有优势,特别是极宽的频响带宽,热声技术正受到研究人员的重新关注。 1999年,Shinoda等[35]提出一种基于热声原理的有效的超声波发射器,这种超声波发生器是由置于10毫米厚的微孔硅层上的30纳米厚的铝薄膜和一个p型晶体硅晶片组成的。当输入热功率为1W/cm2的正弦变化信号时,其在很宽的输入频域内可以获得高达0.08Pa的声压值。但是这个超声波发射器的电声转换效率仅为0.03%。随着碳纳米管线[36,37]和碳纳米管薄膜[14,38]的发现,碳纳米管热声学正经历着迅速的发展。2008年,Xiao等人[39]提出一种能够产生高强热声声波的新型有效的方法,即通过使用交流电作用于从碳纳米管阵列拉出的碳纳米管薄膜[40]上。当一个功率为3W,频率为20kHz的交流电作用在一个3x3cm2的单层碳纳米管薄膜上时,高达100dB的输出声压被测得。Xiao的实验中使用的单层碳纳米管薄膜非常薄(厚度为几十纳米),极轻(典型的单位面积质量为1.5μg/cm2)同时也是优良的电导体(典型的电阻约每平方1kQ)[39]。此外,输入信号频率高达1MHz的交流阻抗实验验证了碳纳米管薄膜是一种纯电阻,这也有助于提高电声转换效率[39]。2010年,Aliev等人[41]用实验研究了置于液体中碳纳米管薄膜热声换能器的性能,同时发现碳纳米管薄膜热声换能器转换效率在液体中急剧降低。值得注意的是,由于碳纳米管的疏水性,当浸没在水中时,在碳纳米管薄膜周围可能形成一层包络,因此相对于在酒精(碳纳米管薄膜在酒精中表现出的是亲水性)中,会极大地增加热声换能器转换效率(高达100倍)[41]。Aliev等人[41]也研究了在密封在氩气环境下的碳纳米管薄膜在液体和气体中的热声响应的性能。实验证明,此种换能器在低频段中的响应良好,而在空气中可以达0.2%的换能效率。Kozlov等人[42]发现应用交流电或者近红外激光作用于多壁碳纳米管阵列也能产生热声,同时发现培植在硅晶片上的碳纳米管阵列产生的热声会伴随三阶和四阶的谐波失真,而此谐波失真应归因于热声的非线性响应。这种独特的现象在较短的碳纳米管阵列中尤为显著,显然是因为热能从碳纳米管阵列中转移到了硅晶片基体中引起的。为了提高热声转换效率,Xiao等人[43]研究了碳纳米管薄膜在不同气体介质(空气,氩气和氦气)中的对于不同输入频率(从300Hz到100kHz)的响应性能。实验结果表明,减少气体的热容可以提高碳纳米管扬声器的热声转换效率。Xiao等人[43]还发现在他们所研究的频率范围内,碳纳米管薄膜产生的声压与其所处气体介质的热容呈反比关系。Aliev等人[44]将碳纳米管薄膜封装不同的气体中,在封闭系统下进行了相似的实验。他们还研究了在封闭系统下的气压对热声响应的影响,并且构建了一个理论模型来解释他们的实验发现。 自从2004年Novoselov等人[45]发现了石墨烯,由于其优良的结构特性和导电性而倍受研究者关注。从实验上已经证明石墨烯具有许多的应用价值。Tian等人[46]最先在2011年证明其可以作为热声源。他们设计了一个热声装置,即将底层印有石墨烯的纸板贴在印制电路板上从而制作了一个多层石墨烯结构。三个厚度分别为100,60和20nm的石墨烯样品被制作并测试。尽管一个20nm厚的石墨烯在1W/cm2输入功率和20kHz的响应频率下能产生能高达83dB的声压,但是该热声装置的性能依然没有达到Xiao等人[39,43]使用的碳纳米管薄膜热声扬声器的性能。Suk等人[47]也将大面积的单层石墨烯印在基底上从而制作了石墨烯热声换能器。他们研究了不同底层(玻璃,聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚二甲基硅氧烷)的热声换能器的性能,并且比较了不同底层对热声转换效率的影响。每个底层的表面孔隙度对声压的影响也做了详细的测试和分析。实验结果表明,提供表面孔隙度有助于提高石墨烯热声换能器性能。石墨烯热声换能器技术的最新发展的代表是石墨烯宽带音频耳机[48]。和传统的商业耳机相比,石墨烯耳机的声音响应频率更宽(从100Hz到50kHz),稳定性也更好。实验研究表明,由石墨烯耳机产生的35kHz的声波能够实现对狗的训练和控制,这也从另一方面验证了石墨烯耳机在高频响应下的有效性和稳定性。 类似于碳纳米管薄膜和石墨烯,悬空金属线阵列和金属薄膜在通入交流电时也能产生高幅值的声波[35,49-54]。Shinoda等人[35]把铝制薄膜置于一个带有微孔结构的硅晶层以减少铝制薄膜向基体的热能传递从而能够有效输出较高的声压。Niskanen等人[49]设计了一个类似的结构,通过将大量的铝线悬空在绝缘基体来产生具有较高声压值得热声声波,实验发现在10kHz的输入频率、15.5W的输入功率下,声压值可以高达l00dB。Vesterinen等人[52]使用格林函数方法和有限差分法研究了另一种相似结构的热声效率以及吸热基体对所产生声压的影响。他们的实验发现验证了他们的理论模型。然而,基于这些结构的热声扬声器的热声能量转换效率很低从而局限了其在消费电子产品和其他领域的实际应用。 与实验研究相比,关于热声学的理论研究比较少。 Hu等人[55]提出了一种热力耦合模型,这种模型适用于将金属线阵列置于多孔硅晶基体上产生超声的热声装置。Xiao等人[39]改进了Arnold和Crandall[8]的活塞模型并用改进的模型成功地阐释了他们的实验结果,同时,率先提出了薄膜的HCPUA是热声装置能够输出高声压的声波以及进一步应用于实际的关键因素。但是,这个改进的模型仅仅适用于远场热声响应[56]。Vesterinen等人[52]使用格林函数方法构建了热声效率的理论模型,这个理论模型也能够阐释吸热基体对所产生声压的影响。但是,他们并没有考虑到热损失或者薄膜的HCPUA的影响。极小的HCPUA的碳纳米管薄膜的出现极大地推动了热声的发展同时使音频设备的体验产生了革命性的提高。然而,碳纳米管薄膜结构强度很低,这使得其实际应用受到了很大的限制[10]。最近,Wei等人[10]巧妙设计了一个热声换能器芯片,此芯片包含了一个悬挂于硅晶片的碳纳米管纱线阵列。这个芯片拥有很好的机械性能,因为碳纳米管纱线比直接从碳纳米管阵列抽出的碳纳米管薄膜的机械强度要高出很多倍[10]。他们也从实验上证明了此种芯片的响应性能并做了详尽的分析讨论。同时它也可以按比例缩小以制微型扬声器或集成到一个大规模设备上,比如说大型扬声器。尽管热声芯片的制作使得碳纳米管薄膜的热声换能器的机械性能得到了显著的提高,但是Wei等人[10]借助于Xiao等人[39]的理论模型仅仅定性而不是定量地对实验结果做了分析讨论,但是xiao[39]等人的理论模型一方面仅仅适用于悬空在自由空间的薄膜的热声响应情况,另一方面也仅仅适用于远场热声响应。 另一个与热声效应相关的有趣现象是蜃景效应。蜃景效应是自然界中普遍存在,也是在生活中极易观察到的现象。它的产生是由于光线穿过一种介质,而这种介质中的温度场是梯度变化的。这种梯度变化的温度场使得介质的折射率不断地变化,从而使得光线弯曲而产生蜃景效应。Boccara等人[57]引入一种热光法用以检测受热样品表面附近的温度梯度变化。许多实验和理论也被提出用以研究受热薄膜附近光线的弯曲角度的大小[58-61]。另外,热光法也被成功的用于测量气体,液体和固体的热扩散率[62]。碳纳米管薄膜,石墨烯以及其它纳米薄膜已经被证明可以用以制作性能良好的的热声换能器[35,39,46-49,52],但是这些研究主要着眼于受热薄膜产生的声波,但是薄膜附近的温度场确很少做过专门的研究。Aliev等人[62]利用实验研究了光线在通过受热碳纳米管薄膜上方是光线的角度偏转。他们不仅在气体(空气,氦气,氩气)中进行了实验,同时他们也在液体(水,酒精等)中进行了同样的实验研究,但是他们仅仅呈现了实验结果却没有给出比较合理精确的理论分析。尽管Murphy等人[59]给出了一个光热理论模型,但是他们的研究是基于将薄膜置于一个基体上,而不是自由悬空的薄膜。因此他们的理论模型并不适用于解释Aliev等人[59]的实验结果。 2.高强度聚焦超声的发展 现在,聚焦超声和非聚焦超声正越来越多的应用于生物医学设备和诊断上。然而,超声诊断并不是超声在生物医疗设备上的唯一应用。早在1942年,Lynn等人[63]就利用高强度超声进行了第一次超声治疗的尝试。但是他们尝试利用高强度聚焦超声通过非接触头颅的方式治疗大脑中的肿瘤并未取得成功[63,64]。之后,Fry等人[65]成功的利用高强度聚焦超声对神经系统疾病进行了治疗。但是随后由于缺乏先进的成像技术[66],关于利用超声治疗神经外科的研究一直停滞不前。在上个世纪70年代,超声技术在生物医学工程上的潜在应用再次引起了人们的注意。但是那时产生的超声的声压很低,所以利用超声在肿瘤细胞内引起过高温度来杀死肿瘤细胞要花费很长时间。另外,由于没有无损探温的设备,施加于肿瘤上的声能很难通过反馈信息得到控制,所以,完好组织的意外烧伤很难避免。上世纪90年代,随着成像技术的不断改进,高强度聚焦超声用于治疗肿瘤的技术再次得到人们关注。不断改进的精确定位技术伴随着有效的治疗手段能够使高强度超声的在医学诊疗上的潜能得以全部发挥[68]。研究人员已经证实高强度聚焦超声几乎能够瞬间使聚焦区域内的细胞死亡,这种杀死细胞的机理源自于细胞凝固性坏死[69,70]。除了用于切除肿瘤细胞,高强度聚焦超声还可以利用其形成的冲击波,声空化或者热沉积效应[72,77]实现快速加热局部组织[71],药物输运[72],机械式的组织摧毁和组织均匀化[73],局部性提高药物溶解和吸收[75],血栓溶解[75]以及血脑屏障功能[76]。值得一提的是近年来高强度超声在超声碎石[78,79]以及超声诊疗例如组织摧毁术[80]上的应用已经取得了突破性的的进展。 基于高强度超声的诊疗技术主要涉及两个主要的物理机制:一个是热效应,另一个是机械效应[66]。治疗肿瘤就是利用目标区域吸收聚焦超声能量形成热沉积来达到治疗目的;而超声碎石则是利用高强度超声波使目标区域形成空化效应而达到治疗效果。多数情况下,肿瘤细胞是和关键完好组织相邻的,因此在做肿瘤细胞切除的同时,要保证这些完好组织不能受到损伤。很明显,超声聚焦声斑必须足够小以保证精准的控制从而达到有效的治疗效果。然而由传统的低频压电换能器产生的超声声斑达不到足够的空间解析度以保证诊疗的绝对安全。同时,由传统压电换能器产生的超声声压很难达到诊疗所需的声压幅值。Spadoni等人[81]利用幂律材料制作了一种非线性声棱镜,这种声棱镜可以产生精准的高幅值超声波(声弹),同时超声聚焦区域也是动态可调的。但是这个设备的最大缺点是结构复杂,工艺要求也非常高。 随着纳米材料的发现和纳米技术的不断进步,高频高强度超声已经可以实现。Yang等人[82]将金纳米粒子夹铺于一个透明基体和PDMS层之间,然后用激光照射这个设计好的装置而产生高频超声。尽管金纳米粒子的光吸收性能很好,但是这个设备的总的光声转换效率依然很低。因此这种设备并不能产生足够高的超声声压用以满足医学诊疗[77]。近来,许多研究者报道了竖向排列的CNT阵列表现出了对光的近黑体吸收特性[28-30,83,84]。因此,CNT阵列可以作为制作高强度超声设备的最佳选择。Baac等人[77]结合CNT阵列的近黑体性和PDMS高弹性高热膨胀性[85]的优良特性制作了一种光声超声棱镜。他们的实验结果验证了此种光声超声棱镜表现出了极好的声学性能。尽管这些实验结果是有说服性的,但是Baac等人并没有给出具有说服性的理论支撑。事实上,关于光声的实验和理论研究不在少数,例如文献[82,85-90]都是对于光声的或实验或理论的研究代表。但是这些文献都是基于一维情况下的研究。借助于格林函数方法,Diebold等人[91]研究了一维,二维以及三维情况下的光声响应,同时,Calasso等人[92]也推导了一种适用于三维光声点源的模型。然而,这些研究者把目光全部集中在了由光脉冲辐射产生的声波上而忽略了临近介质对于所产生的光声压力的影响。因此,Diebold[91]的模型并不能用以解释Baac等人[77]的实验结果。 3.研究动机和目标 大多数声换能器是将电信号转换为机械振动,但是这种声换能器的效应频带很窄,只能在其共振频率附近的响应才能取得较好的效果。这种传统的生换能器设备都包含一个所谓的“活塞”的机械运动部件,当活塞振动时,引起其附近的空气粒子随之运动而产生声波辐射出去[53]。热声设备的声发射机制与传统的机械式的声换能器有着本质的区别。热声换能器并没有机械运动部件,因此不受活塞共振频率的影响而表现出宽频响应的优良特性。这种热声换能器有许多潜在的应用价值,如水下宽带声通信,制作具有指向性的声参量阵等。关于热声换能器以及高强度超声换能器已经从实验上得到证实,但是关于热声换能器的理论研究却相对较少。理论模型的研究以及相应的数值分析研究对于改进和优化热声换能器以及应用于实际工程中都是必要的。 本论文的主要目标就是针对不同的情况建立热声换能器的理论模型,而后通过具体的数值分析刻画不同热声换能器的声压响应特性。在本研究中,首先对于置于自由空间中的碳纳米管薄膜的热声响应建立了热力耦合模型。在一定的频率响应范围内,近似的得出了声压的解析结果。通过与实验数据的对比发现我们的理论结果和实验吻合的非常好,这也反过来证明了我们的模型的合理性。通过对薄膜参数的理论分析发现,单位面积热容的大小是影响热声设备的关键性因素。单位面积热容越小,热声换能器的表现性能越佳。同时通过数值分析发现,在近场范围内,对于不同的输入频率,输出的声压信号几乎保持不变,而对于远场则随着输入频率的提高,输出的声压也作相应的提高。 由于密封的碳纳米管薄膜热声换能器具有和自由空间的薄膜热声换能器有着截然不同的响应特性,本论文也对密封碳纳米管薄膜热声换能器建立了理论模型,同样,给出了近似的解析结果。通过与实验数据的对比发现,本论文的理论结果与实验结果高度一致。通过实际的例子,研究了薄膜和窗口之间的距离的大小对热声响应的影响。另外,通过数值分析发现,此种热声换能器在特定的频率输出条件下会发生共振现象,因此,此类型的换能器可以用于产生特定频率的高幅值声波,也可以用于从一列宽频信号中提取特定频率的声信号。对于将此种密封薄膜换能器置于不同介质(气体和液体)中的响应特性也给出了数值分析。数值分析发现,在气体中,换能器在低频段表现更佳而在液体中却在高频段表现更佳。 由于碳纳米管薄膜的结构强度很差,所以对于置于自由空间的碳纳米管薄膜热声换能器很容易受到破坏,从而限制了其的实际应用。为了克服这个缺点,可以将碳纳米管薄膜置于一个基体上,让基体对其有一定的支撑作用,这样热声换能器的整体结构强度就得到了极大的提高。本文也对有基体支撑的热声换能器的响应特性建立理论模型并给出了具体的解析结果。此理论模型亦通过实验得以验证。通过得到的理论结果,详细分析了碳纳米管薄膜和基体间的间隔距离对于热声相应的影响。数值结果显示,对于小的间隔距离(50微米以下),随着间隔距离的增加,输出声压呈指数型增加,而当间隔距离继续增加,输出声压几乎保持不变。如果当间隔距离达到毫米量级,由于薄膜产生的原波和基体反射的反射波之间发生干涉效应,因此在特定的距离处会出现零声压的现象。 蜃景效应是自然界中常见的自然现象。当一束光线通过温度梯度变化的介质时,光线将沿曲线传播而不是直线。本文对于由受热碳纳米管薄膜在液体和气体中产生的蜃景效应作了详细的分析。通过与实验结果的比较发现,本文的模型能够足够精确的预测出光线弯曲的角度。另外,通过结果分析发现,蜃景效应更易在液体中发生。通过测量弯曲光线的相位变化的方法去测量介质的热扩散率也做了细致的研究。最后,本文提出了一种用于测量气体介质的折射率的新方法。 虽然高强度聚焦超声正被广泛用于生物医学工程上,但是传统的超声设备产生的聚焦超声的声斑在空间依然比较大,因此空间精度很差。此外,传统的超声设备发射的超声波声压难以满足医疗所需声压。基于此种原因,本论文研究了一种由碳纳米管制作的高强度光声超声棱镜。值得注意的是,尽管光声设备的热能来自于光而热声设备的热能来自于电流,但是他们的发声机理是一样的。本文将得到的理论结果与已发表的实验结果在空间和时间上做了细致的对比,对比结果显示,本文的理论模型和实验吻合的非常好。另外通过数值研究发现,如果选择特定的输入频率,此种聚焦光声棱镜的表现可以得到显著的提高。总的来说,本文提出的聚焦光声棱镜模型可以为高强度超声棱镜的设计和制作提高强有力的理论支撑和指导。 总的来说,本论文从理论上研究了碳纳米管热声和光声换能器的响应特性,并就理论结果做了详细的数值分析。研究了一系列不同条件下,不同参数下的换能器响应规律。本论文的理论模型和数值结果有望对于热声光声换能器的设计制作和优化提供必要的理论支撑和指导。
【关键词】:
【学位授予单位】:中国科学技术大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2015
【分类号】:TN643;O613.71
【目录】:
- ABSTRACT5-9
- ACKNOWLEDGEMENTS9-15
- LIST OF FIGURES15-22
- LIST OF TABLES22-23
- AWARDS AND PUBLICATIONS23-25
- CHAPTER 1 INTRODUCTION25-41
- 1.1 Background25-35
- 1.1.1 Development of thermo-acoustic technology25-32
- 1.1.2 Development of high-intensity ultrasound32-35
- 1.2 Research motivation and objectives35-38
- 1.3 Thesis layout38-41
- CHAPTER 2 THEORY oF SUSPENDED CARBON NANOTUBE THIN-FILMAS A THERMO-ACOUSTIC SOURCE41-57
- 2.1 Near-Field thermo-acoustic theory for carbon nanotube(CNT)thin-films42-44
- 2.2 Approximate analytical solutions for near-field acoustic response44-48
- 2.3 Numerical solutions and discussion48-56
- 2.3.1 Response in near-field48-50
- 2.3.2 Response in far-field50-52
- 2.3.3 Influences of HCPUA and distance on acoustic pressure52-54
- 2.3.4 Applicable scope of approximate solutions54-56
- 2.4 Summary56-57
- CHAPTER 3 GAS-FILLED ENCAPSULATED THERMO-ACOUSTICTRANSDUCER57-81
- 3.1 Theoretical model and the solution57-70
- 3.1.1 Sound transmission through the window68-69
- 3.1.2 Sound generated from window vibration69-70
- 3.2 Numerical results and discussion70-78
- 3.3 Summary78-81
- CHAPTER 4 GAP SEPARATION EFFECT ON THERMO-ACOUSTICWAVE GENERATION BY HEATED SUSPENDED CNT THIN-FILM81-101
- 4.1 Theory and analytical modeling82-90
- 4.1.1 Thermal field83-86
- 4.1.2 Acoustic field86-90
- 4.2 Result and discussion90-99
- 4.3 Summary99-101
- CHAPTER 5 GENERATION OF MIRAGE EFFECT BY HEATED CARBONNANOTUBE(CNT)THIN FILM101-121
- 5.1 Theory,Model and Solution Methodology102-108
- 5.1.1 Temperature Field102-104
- 5.1.2 Photo-thermal Deflection104-107
- 5.1.3 Phase of Deflected Beam107-108
- 5.1.4 Measurement of Gas Refraction108
- 5.2 Results and Discussion108-119
- 5.3 Summary119-121
- CHAPTER 6 GENERATION OF HIGH INTENSITY FOCUSEDULTRASOUND BY CARBON NANOTUBE OPTO-ACOUSTIC LENS121-143
- 6.1 Theory and Analytical Modeling122-131
- 6.1.1 Temperature field123-127
- 6.1.2 Acoustic field127-131
- 6.2 Result and discussion131-141
- 6.3 Summary141-143
- CHAPTER 7 CONCLUSIONS AND FUTURE WORKS143-151
- 7.1 Conclusions143-147
- 7.2 Future works147-151
- Appendix Ⅰ151-155
- Appendix Ⅱ155-157
- Appendix Ⅲ157-161
- Appendix Ⅳ161-169
- Appendix Ⅴ169-171
- REFERENCES171-185
- 附录185-196
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘维;殷明志;;碳纳米填料几何形状和界面热阻对复合材料热导率的影响[J];中国胶粘剂;2013年11期
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3 Runyuan Liu;;Graphene Electrostatic Loudspeaker as an Alternative to Current Loudspeaker Designs[J];电子世界;2014年14期
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6 张东利;王召巴;陈振茂;李勇;;涡流传感器斜偏对输油管道涂层厚度测量精度的影响及斜偏矫正[J];中国机械工程;2013年07期
7 章t,
本文编号:1125439
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