热式和浮子流量传感器关键技术研究
【学位授予单位】:天津大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2016
【分类号】:TP212
【图文】:
托马斯流量传感器原理
温差和流量的关系
图 1-3 浸入式热式气体质量流量传感器随着片上系统(SOC)技术和微细加工(MEM用,热膜式气体质量流量传感器得到迅速发展都是在微小的陶瓷基片上沉积金属铂形成的铂
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本文编号:2770892
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