基于关键路径识别的光刻领域科学与技术演化脉络研究

发布时间：2024-05-16 21:17

　　随着科学技术的迅猛发展和经济社会的持续进步,科技文献信息正以惊人的速度不断增长。除此之外,随着科学技术的更新换代和知识的新陈代谢,大量现有科技文献信息的利用价值也正以不同的速度逐步减少。如何快速准确地发现领域内具有重要影响的知识演化脉络,以支撑未来的科技创新与科技决策,成为目前研究者关注的焦点。与此同时,科技文献引文网络是一个复杂巨网络,要从中观察科学的脉络和路径非常困难,而对于研究者来说,快速了解整个领域的关键演化脉络并发现最具有价值和潜力的发展轨迹是至关重要的。本文从知识流动与文本挖掘角度探索复杂引文网络中的关键演化脉络,并将科学文献演化脉络与技术专利演化脉络关联起来进行分析,从关键演化脉络中探寻科技脉络演化关联关系与科技交互模式。首先,利用科学文献与技术专利数据构建两个不同知识体系的演化脉络复杂网络;其次,针对主路径分析中较少考虑引用内容的问题与技术演化脉络往往存在一定的时滞性的问题,提出了一种基于引用内容表示学习的关键路径识别算法,分别发掘出科学演化脉络与技术演化脉络中的关键路径;最后,将科学知识体系下的关键路径与技术知识体系下的关键路径关联起来,发掘科技脉络演化关联关系和科技...

【文章页数】：55 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1.1SPC遍历算法

如图1.1所示,该网络一共有6条路径,经过(A,B)的有3条,故(A,B)的权重值就是3,同理求出所有直接边的权重值,进行累计求和,得出总值为12的路径A->B->D->E->G、A->B->D->E->F、A->C->D->E->G、A->C->D->E->F是全局主路径。1.....

图1.2技术路线图

本文具体的研究技术路线,如图1.2所示:2.1数据获取与预处理

图3.1光刻技术专利各国家或地区申请趋势

如图3.1所示,是各国家或地区的光刻技术专利申请趋势情况,从图中可以看出在数据库所能收录范围最早的1966年就已经有相关的专利申请公开,美国与日本在光刻领域起步较早。日本专利申请数量在2005年达到峰值5646,美国专利申请数量在2006年达到峰值4735,两个国家在之后数量均呈....

图3.2专利关键路径PKP-a

光刻掩膜制备技术演化分支路径情况如下图3.2所示,光刻掩膜制备技术演化分支路径及路径节点关键信息见下表3.2。在光刻工艺防护膜演化分支(PKP-a1、PKP-a2、PKP-a3、PKP-a4)中,其2000-2010年公开的专利节点以US2009104544-A1、US20120....

本文编号：3974921