电子能谱学8.ppt全文

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电子能谱学第8讲俄歇电子能谱的应用 朱永法 清华大学化学系 2002.11.19 max.book118.com Port：20 User：lesson pass：lesson 俄歇电子能谱提供的信息 固体表面的能带结构、态密度 ，电子态； 表面的物理化学性质 变化 元素组成，含量，化学价态，深度分布，微区分析等信息 表面吸附、脱附以及表面化学反应 ； 材料组分的确定，纯度的检测，材料特别是薄膜材料的生长 等； 电子器件的失效分析，材料的腐蚀等； 俄歇电子能谱的应用 表面清洁 表面吸附和反应 表面扩散 薄膜厚度 界面扩散和结构 表面偏析 摩擦润滑 失效分析 电子材料 核材料 催化剂 固体表面清洁程度的测定 在研究工作中，经常需要获得清洁的表面。 一般对于金属样品可以通过加热氧化除去有机物污染，再通过真空热退火除去氧化物而得到清洁表面。 最简单的方法则是离子枪溅射样品表面来除去表面污染物。 样品的表面清洁程度可以用俄歇电子能谱来实时监测。 表面吸附和化学反应的研究 由于俄歇电子能谱具有很高的表面灵敏度，可以检测到10-3原子单层，因此可以很方便和有效地用来研究固体表面的化学吸附和化学反应。 不仅可以分析吸附含量，，还可以研究吸附状态以及化学反应过程 表面吸附研究 表面吸附反应 表面清洁度检测 薄膜厚度测定 通过俄歇电子能谱的深度剖析，可以获得多层膜的厚度。 由于溅射速率与材料的性质有关，这种方法获得的薄膜厚度一般是一种相对厚度。但在实际过程中，大部分物质的溅射速率相差不大，或者通过基准物质的校准，可以获得薄膜层的厚度。 这种方法对于薄膜以及多层膜比较有效。对于厚度较厚的薄膜可以通过横截面的线扫描或通过扫描电镜测量获得。 薄膜厚度的测定 TiO2薄膜

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