CCD与CMOS图像传感器辐射效应测试系统
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CCD与CMOS图像传感器辐射效应测试系统
第11期
等:CCD与CMOS图像传感器辐射效应测试系统 李豫东,
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,hotoelectricrocessinsubsstemsfortestinresonsessectrumresonseandoututdata.Itisa -ppgygpppp bletocomrehensivelanduantitativeltestandanalzethehotoelectricresonseandsectralchar -pyyppqyp acteristicsofthedevices.Thesstemshowsitssectrumraneandsectrumresolutiontobe0.38to ypgp1.1μmand1nm,resectivel.ThesstemhasbeencombinedwiththeirradiationfacilitiesinXin -pyyianlatformTechnicalInstituteofPhsics&Chemistrtoconstituteaforradiationeffectsimula -jgpyy tionexerimentsandantiradiationerformanceevaluationofhotoelectronicimaindevices.Cur - - -pppgg rentlthesstemhasastronsuortfortheresearch &develomentofdomesticantiradirovided --y,ygpppp ,,ationCCDandCMOSAPSdevicesincludinteselectionexaminationandevaluationofimain - gypgg ofsacesectors.Theresultsshowthatthissstemcansatisfthereuirementsofradiationdevices pyyq researchonCCDandCMOSdevices.effect
:;KewordsCCD;CMOSAPS;radiationeffectantiradiationerformance - py
而且还需要进国外设备不仅需要消耗巨额费用,
1 引 言
、互补金属氧化物半导CCD) 电荷耦合器件(
体有源像素图像传感器(等光电成CMOSAPS) 像器件是卫星与空间光学载荷的核心器件,其空间应用可靠性直接关系卫星与载荷的在轨性能与
]13-
。然而,运行寿命[空间辐射环境会对上述光电
进行光机电系统集成才能满足试验要求,不能保证系统的适应性与易用性。为突破以上制约,本文研制了光电成像器件抗辐射性能检测系统。系统的方案设计融合了辐射效应试验技术、光机系统设计与制造技术、计算机软硬件设计技术,具有通用性强和测量范围宽等特点。测试功能全面、
它适用于不同种类的CCD与CMOSAPS的辐射 效应测试评价。
从而导致器件性能退化成像器件产生辐射损伤,
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。因此,上述器件的空间辐射效甚至功能失效[
应研究、抗辐射加固设计与抗辐射性能评估,是保证卫星与载荷在轨性能与运行寿命必须解决的关键问题。而器件的辐射效应的测试分析、抗辐射性能检测评估是解决问题的关键。
目前,美国、西欧研制与应用的宇航CCD、
一CMOSAPS的抗辐射性能达到了很高的水平,
另一方面得益于其先进的器件工艺与制造技术,方面还得益于器件辐射效应的测试分析与检测评
]610-
。在国外,,估工作的深入开展[美国国家航空
2 检测系统概述
检测系统的研制广泛且深入地参考了国内外
]1123-
,光电成像器件的测试评价技术[该系统可对
、电荷转移效率(饱和输出电器件的暗信号、CCD)响应度、噪声、非均匀性、动态范围、信噪比、传压、
光谱响应等主要参数进行定量测试。检递函数、
测系统如图1所示
。
、、喷气推进实验室(航天局(NASA)JPL)UNI-SYS等航天机构均有专用于该类器件的检测设
并在此基础上形成了试验评备与试验测试条件,
估规范,用于器件的空间应用选型及考核评估试、、验。AdvantestTeradnePulseInstruments等 y国际知名测试设备制造商也都有针对光电成像器。近几年,国件测试分析的自动测试设备(ATE)内也越来越重视抗辐射加固CCD、CMOSAPS
技术及其在空间中的应用,但是器件的研制能力与空间应用水平与国外相比还有较大差距。主要制约因素之一就是缺乏相应的试验测试条件。目前,国内还没有国产的此类专用试验设备,如果引
图1 检测系统实物图Fi.1 Photooftestinsstem ggy
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