高温退火处理对低温同向热解碳表面氧化钛薄膜改性的影响

发布时间：2018-02-22 11:52

  本文关键词： 高温退火处理 表面改性 氧化钛　出处：《材料导报》2014年16期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：采用非平衡磁控溅射设备在热解碳表面沉积氧化钛薄膜,并置于超高真空环境中进行高温退火处理。利用X射线衍射评价薄膜的晶体结构;使用台阶仪分析退火前后薄膜表面曲率变化;采用纳米划痕法评价薄膜与基体之间的结合力。实验结果表明,高温退火处理不会改变氧化钛薄膜的相结构,仅使薄膜晶粒尺寸长大,结晶更完整;台阶仪扫描结果显示经过高温处理后薄膜表面发生的变形减小,显示出薄膜内应力减小;纳米划痕测试分析得出,高温退火处理可以提高薄膜与基体之间的膜基结合力。
[Abstract]:Titanium oxide thin films were deposited on the surface of pyrolytic carbon by unbalanced magnetron sputtering equipment and annealed at high temperature in ultra-high vacuum environment. The crystal structure of the films was evaluated by X-ray diffraction. The surface curvature of the films before and after annealing was analyzed by step analyzer, and the adhesion between the films and the substrate was evaluated by nano-scratch method. The experimental results showed that the phase structure of titanium oxide films could not be changed by high temperature annealing. Only the grain size of the film is grown and the crystal is more complete. The results of the step scanner show that the deformation on the surface of the film after high temperature treatment decreases and the stress inside the film decreases. High temperature annealing can improve the adhesion between the film and the substrate.
【作者单位】： 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室;重庆工业职业技术学院科技处;
【基金】：国家自然科学基金(81270701)
【分类号】：R318.08

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1524341