基于MEMS技术的植入式柔性多触点平面电极阵列

发布时间：2019-11-28 08:12

【摘要】：为提高植入式电极阵列的分辨率,降低生物组织损伤,保证其在生物体内稳定工作,本文提出了一种基于聚对二甲苯(Parylene C)的柔性多触点平面电极阵列.该电极为Parylene C/Au/Parylene C 3层结构,共24个通道.电极采用标准MEMS工艺加工,触点分布精确,轮廓清晰,表面平整,粗糙度为23.8 nm.为评估电极的工作性能,采用磷酸缓冲液(PBS溶液)模拟生物组织液,对电极阵列进行了电化学阻抗测试及循环伏安测试.测试表明,电极在100 Hz与1 000 Hz的阻抗值约为400 kΩ与50 kΩ,满足记录电极对阻抗的要求,同时,不同通道之间具有良好的一致性.此外,对随机选取的一个通道进行的循环伏安法测试表明,电极在刺激模式下具有良好的可逆性,对组织无影响,该通道的电荷储存能力约为650μC/cm2,与文献报道电极相当.
，

本文编号：2566978