医用准分子激光器激光介质实时补给控制系统
本文关键词:医用准分子激光器激光介质实时补给控制系统
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【摘要】:卤素气体的消耗和激光介质纯度的降低是影响医用准分子激光器激光能量稳定性和激光介质使用寿命的主要因素。为提高激光能量稳定性和激光介质使用寿命,在激光器供气系统上增加激光介质实时补给装置,采取基于FPGA的控制系统将补给少量卤素气体和更换部分混合型激光介质等操作有效组合起来,经仿真验证,该控制系统能实现激光介质实时补给功能,可有效提高激光能量稳定性和激光介质使用寿命,且控制精度高,操作方便,扩展应用性强。
【作者单位】: 湖南科技学院;
【关键词】: 医用准分子激光器 激光介质 实时补给 自动控制系统
【基金】:永州市2014年度科技局指导性科技计划项目 湖南省教育厅科研资助项目(项目编号:14C0485)
【分类号】:R197.39;TN248
【正文快照】: 0引言卤化物准分子激光器输出激光波长在紫外区、脉宽窄、脉冲能量大和可重频运行,是目前主要使用的医用型准分子激光器。近几年来,美国Cymer和Gigraphoton公司,以及加拿大Lumonics和日本Gigraphoton公司的准分子激光技术水平世界领先,为全世界提供了大量医用、工业和科研用准
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