面向微通道以孔中心为缩放原点的掩膜

发布时间：2017-12-02 12:05

  本文关键词：面向微通道以孔中心为缩放原点的掩膜

  更多相关文章： 掩膜 微通道 激光微加工 微流控芯片

【摘要】：在带有掩膜的面向微通道的激光微加工系统中,一般用光学缩微系统缩小通过掩膜光斑的尺度,实现微米尺度精细加工。在制备薄膜改善微通道表面粗糙度和疏水性研究中发现,激光固化光斑的直径与微通道宽度的匹配十分重要。然而在通常的激光微加工工艺中,调整固化光束直径一般用更换不同直径圆孔掩膜来实现改变“固化光束”直径的大小。这种工艺的问题在于:1)“固化光束直径”的改变过程是“非连续性”呈“阶梯性”变化的;2)变化的“固化光束”中心一致性的重复误差很大,这在激光微加工中是很大的缺陷,无法精确对单一微通道进行加工。针对具有自主知识产权的微通道同轴气吹展技术和光预固化制备NOA61薄膜技术背景,本文提出了一种掩膜设计思路,即设计分析掩膜直径在微米级的,以孔中心为缩放原点自动调节孔径的激光微加工掩膜装置。这种装置可以根据微通道的不同宽度自动调节光圈半径,同时掩膜孔中心始终位于微通道中心线上。在设计分析和实验验证之后,其结果所形成误差态势是一致的,这说明:1)设计方案可实现误差与半径比小于5%的“微米级以孔中心为缩放原点自动调节孔径的激光微加工掩膜装置”;2)使用成熟精密的成品平移移动和转动组件可以搭建运动误差内的该掩膜装置,省略了在零部件加工和装配过程中制作单一掩膜时,对误差的技术要求和控制,将促进面向微通道激光微加工技术的发展。
【学位授予单位】：北京工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2015
【分类号】：TN249

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李志华;林建忠;;S形微通道流场的混合特性研究[J];科技通报;2009年05期

2 高杨;白竹川;刘婷婷;袁明权;;微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响[J];微纳电子技术;2010年11期

3 王琳琳;胡洪萍;;错流接触T型微通道内两相流动数值模拟[J];西安文理学院学报(自然科学版);2013年02期

4 王琳琳;胡洪萍;;湿壁面条件下T型微通道内两相流数值模拟[J];西南师范大学学报(自然科学版);2013年10期

5 靳遵龙;张志超;陈晓堂;王永庆;刘敏珊;;微通道散热器新型通道设计及性能分析[J];低温与超导;2013年12期

6 何颖;邵宝东;程赫明;;矩形微通道散热器流道的数值模拟及尺寸优化[J];应用数学和力学;2014年03期

7 陈德良;冯彩玲;秦水介;;石英微通道内测量细胞表面电荷的研究[J];激光技术;2009年06期

8 周萍;陈卓;徐则林;莫景文;;玻璃质微通道流动阻力特性的数值模拟[J];中南大学学报(自然科学版);2012年06期

9 石慧霞;王企鲲;;微通道中颗粒惯性聚集特性的数值研究[J];上海理工大学学报;2013年04期

10 张凯;林建忠;李志华;;电渗驱动微通道流中的扩散[J];应用数学和力学;2006年05期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 史东山;李锦辉;刘赵淼;;关于微通道相关问题研究方法现状分析[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年

2 逄燕;刘赵淼;;温黏关系对微通道内液体流动和传热性能的影响[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年

3 范国军;逄燕;刘赵淼;;微通道中液体流动和传热特性的影响因素概述[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年

4 刘丽昆;逄燕;刘赵淼;;几何参数对微通道液体流动和传热性能影响的研究[A];北京力学会第18届学术年会论文集[C];2012年

5 刘丽昆;刘赵淼;申峰;;几何参数对微通道黏性耗散影响的研究[A];北京力学会第19届学术年会论文集[C];2013年

6 肖鹏;申峰;刘赵淼;;微通道中矩形微凹槽内流场的数值模拟[A];北京力学会第19届学术年会论文集[C];2013年

7 肖鹏;申峰;刘赵淼;李易;;凹槽微通道流场的三维数值模拟[A];北京力学会第20届学术年会论文集[C];2014年

8 周继军;刘睿;张政;廖文裕;佘汉佃;;微通道传热中的两相间歇流[A];上海市制冷学会2011年学术年会论文集[C];2011年

9 夏国栋;柴磊;周明正;杨瑞波;;周期性变截面微通道内液体流动与传热的数值模拟研究[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年

10 娄文忠;Herbert Reichel;;硅微通道致冷系统设计与仿真研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年

中国重要报纸全文数据库 前2条

1 本报记者 陈杰;空调将进入微通道时代[N];科技日报;2008年

2 张亮;美海军成功为未来武器研制微型散热器[N];科技日报;2005年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 刘征;超疏水微通道传递特性的数值模拟[D];大连理工大学;2010年

2 高晓玉;微通道光生物制氢反应器内微生物生长及传输特性[D];重庆大学;2010年

3 刘焕玲;微通道换热研究[D];西安电子科技大学;2004年

4 刘莹莹;网络化微通道散热器的设计仿真与温度控制[D];西安电子科技大学;2008年

5 刘秉言;微通道中流动特性的大涡模拟[D];天津大学;2007年

6 赵向阳;光学表面等离子共振生物传感器的微通道系统研究及仪器设计[D];河南农业大学;2008年

7 逄燕;微通道内液体流动和换热特性的数值模拟研究[D];北京工业大学;2011年

8 葛浩;新型微通道热沉的设计和数值研究[D];上海交通大学;2007年

9 谢灵丹;微通道内微细颗粒对气液传质的影响研究[D];天津大学;2010年

10 刘超;装有纵向涡流产生器的矩形微通道内的传热与流动的实验和模拟研究[D];华中科技大学;2011年

，

本文编号：1244831