铁铝阻抗匹配靶的精密扩散连接

发布时间：2017-10-13 09:45

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【摘要】：为了获得某些材料在在高压条件下的物态方程,制备了用于激光驱动状态方程实验的铁铝阻抗匹配靶,研究了铁铝薄膜的精密热扩散连接技术。以冷轧铁薄膜和超精密加工铝薄膜为原料,研究了热复合工艺条件对其表面形貌、结晶性能、连接界面等参数的影响。利用白光干涉共焦显微镜、X射线衍射仪、膜厚测量仪、扫描电镜等仪器对靶件的表面形貌、厚度、结晶特性、残余应力及界面成分分布等进行分析表征,掌握了相关参数的变化趋势。据此优化工艺参数,制备了高质量的铁-铝阻抗匹配靶。对成靶的测试结果显示,其表面粗糙度小于100nm、厚度一致性控制在100nm以内、界面扩散层厚度约为200nm,且未观测到显微缺陷,满足物理实验的具体要求。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;绵阳师范学院;
【关键词】： 铁 铝 铁铝薄膜 阻抗匹配靶 扩散连接
【基金】：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(No.KF13003)
【分类号】：O484.4
【正文快照】： 1引言铁元素(Fe)作为惯性约束核聚变(ICF)研究中重要的目标材料,掌握其在高压条件下的物态方程对于天体物理、地球物理及ICF等领域的研究具有基础性意义[1-2]。在1~10几Tpa压力段,理论方法只能给出比较近似的描述,必须依赖实验测量获得的物态方程数据来建立恰当的物理模型,并

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本文编号：1024188