采用等离子干燥工艺提高镀膜附着强度稳定性

发布时间：2017-10-20 14:05

  本文关键词：采用等离子干燥工艺提高镀膜附着强度稳定性

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【摘要】：镀膜工艺设计应能有效脱附物理和化学吸附,才能保证附着强度工艺稳定性。设备运行后腔室内表面沉积物增加,通过分析变化影响探索出一种等离子干燥工艺方法,应用后提高了生产效率,保证了薄膜电路金属叠层间附着强度生产稳定性,满足产品工程应用的可靠性要求。
【作者单位】： 中国西南电子技术研究所;
【关键词】： 毫米波组件 薄膜电路 附着强度 等离子干燥 溅射 材料出气
【基金】：国家科技攻关计划项目~~
【分类号】：TN405;TB4
【正文快照】： 1引言随着毫米波组件小型化、模块化发展速度不断加快,毫米波薄膜电路因图形精度高、电性能指标稳定性好、可简化设计和组装工序,在毫米波组件中的应用不断增多。薄膜电路制备中,镀层与基底附着强度稳定性工艺一直是工艺的攻关和关注重点。吸附和脱附与镀膜附着强度密切相关,

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