四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计

发布时间：2017-11-17 11:31

  本文关键词：四元阵型MEMS矢量水听器微结构设计

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【摘要】：针对当前的MEMS矢量水听器存在左右舷模糊问题,提出了一种四元阵型MEMS矢量水听器微结构。首先,从理论上分析了当前的MEMS矢量水听器左右舷模糊问题,从而提出了可消除左右舷模糊的四元阵型MEMS矢量水听器微结构。其次,对四元阵型MEMS矢量水听器微结构进行有限元仿真,声源方向可以通过分析各阵元应力分布情况而唯一确定。最后,通过驻波声场试验验证其可行性,结果表明,该微结构可实现左右舷分辨,有效消除左右舷模糊。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术重点实验室;
【基金】：应用于海底长期观测网的纳机电矢量水听器项目(2013AA09A412) 基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理技术研究项目(61127008/F040703)
【分类号】：TB565.1
【正文快照】： 矢量水听器作为一种能够时间同步、空间共点测得水下声场矢量信息的传感器[1],在海洋工程和海洋开发中有着广泛的应用前景。目前,有很多关于矢量水听器技术的研究,具有代表性的是美国Benjamin利用T356B08型加速度计采用部分集成电路工艺制作矢量水声传感器[2]。1996年,Howard

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本文编号：1195894