ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

发布时间：2017-11-24 22:25

  本文关键词：ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

  更多相关文章： 矢量水听器 ZnO 压电加速度计 微压 压电薄膜 加速度灵敏度 近似解析 微电子机械系统 压阻式 标准加速度计

【摘要】：提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器。测试结果表明:加速度灵敏度在20~1,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s~2)。经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上。
【作者单位】： 中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室;中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(11074274,11174319,11474304)资助
【分类号】：TB565.1
【正文快照】： 2,^. 915 矢量水听器是一种有别于普通声压水听器的另一类水声接收换能器,能测量水下声场的质点位移、速度、加速度等矢量信息。它与声压水听器联合使用可以获得水下复杂声场的完整信息,即声压,质点速度和它们之间相位差。进而使水声测量系统的抗干 扰能力、线谱检测能力以及

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本文编号：1223842