晶圆厂炉管设备TEOS的产能提升研究

发布时间：2017-12-04 16:29

  本文关键词：晶圆厂炉管设备TEOS的产能提升研究

  更多相关文章： 六西格玛 DMAIC 产能 OEE 极限生产速度

【摘要】：在20世纪,全球芯片代工行业主要由T公司、台联电这两家台湾晶圆厂称霸。进入21世纪后,世界半导体芯片代工行业竞争日益激烈,连英特尔、三星这样的半导体巨头都开始进军芯片代工行业。芯片代工是需要巨额资本投入的行业,以8寸厂为例,建制每月1千片晶圆的产能,通常都意味着1000万美金以上的投资。而12寸的先进制程,建厂成本要在几十亿美金级别。在半导体景气上升的周期,产能限制往往导致很多芯片代工厂无法接更多订单。本文以六西格玛思想为指导,利用六西格玛DMAIC方法和六西格玛工具,以T公司TEOS机台群组为研究对象,讨论芯片代工厂提升产能的方法和途径。主要从全局设备效率(OEE)、机台极限生产速度这两个方面,层层深入,逐步分析,找到根本原因并寻求解法和系统面的保障,从而实现TEOS机台群组产能的有效提升。该研究为T公司其它机台群组以及其它相关企业提供了很好的借鉴和参考。
【学位授予单位】：上海交通大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2015
【分类号】：TN305;TB497

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李海燕,张之圣;Nano-SiO_2/E-20/TEOS复合体系[J];天津大学学报;2004年05期

2 宋艳娜;彭跃莲;;前体水解聚合制备无机-有机杂化膜时TEOS对PVDF成膜过程的影响[J];膜科学与技术;2010年05期

3 张克宏;王鹏;;静电纺丝法制备PVA/TEOS复合纤维膜的研究[J];包装工程;2009年10期

4 赵华章,朱志慧,李久义,裴元生,栾兆坤;以TEOS为硅源的聚硅氯化铝的絮凝性能及残留铝研究[J];给水排水;2005年04期

5 刘丰yN,符连社,王俊,李焕荣,张洪杰;Luminescent Thin Film of Doped Terbium Complex Obtained by Sol-Gel Method[J];Journal of Rare Earths;2003年03期

6 金学峰;钱国栋;;Preparation and Characterization of Hybrid Films with a TCF Acceptor-based Chromophore for Nonlinear Optical Applications[J];Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science Edition);2007年S1期

7 李立;王守国;赵玲利;叶甜春;;常压射频冷等离子体TEOS工艺沉积二氧化硅薄膜的光谱研究[J];光散射学报;2006年04期

8 武晓峰;陈运法;魏连启;王奇;;Controlling Shell Thickness of PS/SiO_2 Core-Shell Particles and Their Crystallization into 3-D Ordered Thin Film[J];过程工程学报;2006年S2期

9 陈红梅，邹翰;溶胶－凝胶法制备TEOS－PDMS杂交材料[J];暨南大学学报(自然科学与医学版);1995年03期

10 陈照峰,张立同,成来飞,徐永东,肖鹏;MOCVI制备Nextel 720/SiO_2复合材料[J];航空材料学报;2001年01期

中国重要会议论文全文数据库 前4条

1 程亮;许振良;张觅;张佩佩;;高温NIPS法制备PVC/TEOS超滤膜及其性能[A];上海市化学化工学会2011年度学术年会论文集[C];2011年

2 张海东;;n-Hexane Assisted Synthesis of Mesostructure Cellular Foam Silica Material with Little Pore Size and Big Pore Volume[A];重庆市化学化工学会2009学术年会论文集[C];2009年

3 余大书;张兴文;王立群;胡立江;;TEOS／KH-560纳米杂化材料的特性研究(英文)[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年

4 ;Controlling Shell Thickness of PS/SiO_2 Core-Shell Particles and Their Crystallization into 3-D Ordered Thin Film[A];中国颗粒学会2006年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 王芳;TEOS溶胶凝胶法制备二氧化硅/有机硅复合体系[D];中国地质大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库 前5条

1 王晓斌;晶圆厂炉管设备TEOS的产能提升研究[D];上海交通大学;2015年

2 陈坤;MTES/TEOS水解缩聚包覆改性铝颜料的研究[D];华南理工大学;2012年

3 李娟;CVD法采用TEOS-O_3沉积二氧化硅膜[D];河北大学;2004年

4 孙晓梅;溶胶—凝胶法合成硅胶键载聚酰胺—胺型树形分子及其性能研究[D];鲁东大学;2014年

5 闻黎;TEOS射频辉光放电分解淀积P-SiO_2和P-SiON薄膜的研究[D];合肥工业大学;2002年

，

本文编号：1251637