溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO:Ga薄膜的影响

发布时间：2017-12-26 14:01

  本文关键词：溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO:Ga薄膜的影响　出处：《陶瓷学报》2016年02期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： ZnO薄膜 聚对苯二甲酸乙二酯(PET) 溅射功率 内应力

【摘要】：在室温条件下,通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响,并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长,但是衍射角出现明显偏移,表明薄膜内部存在较大应力;SEM测试显示薄膜表面晶粒具有良好的均匀均性和致密性,随着溅射功率增加,晶粒尺寸按照一定规律变化。薄膜的平均透过率在85%左右,电阻率最低达到7.1×10~(-3)?·cm。
【作者单位】： 景德镇陶瓷大学机械电子工程学院;
【基金】：国家自然基金项目(61066003) 江西省自然基金资助项目(20111BAB202005,20132BAB202001)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言面,由于现在人们对于应用设备要求的提升,柔性材料所展现的轻便、柔韧性强、价格便宜等特点,　　近年来,随着光伏产业的飞速发展,透明导电使其逐步取代玻璃材料成为可能。现今,大量的柔薄膜的应用技术也越来越成熟。等离子显示器、性材料如聚酰亚胺(PI)、聚丙烯二酯(PPA)

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本文编号：1337519