薄膜热导率测量方法研究进展

发布时间：2018-01-24 06:06

  本文关键词： 薄膜 热导率 测量方法　出处：《功能材料》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：薄膜材料对微纳器件制造不可或缺,而其热导率直接限制微纳器件的散热性能,从而影响器件的可靠性。因此,研究薄膜热物理性质对于半导体器件的制造以及集成电路的设计极为重要。为此,对薄膜材料热导率测量方法进行了综述,并在分析薄膜微结构模型的基础上,对热导率测量方法进行了可行性分析,从而为薄膜材料热性能测量提供技术参考。
[Abstract]:Thin film material is indispensable to the fabrication of micro / nano devices, and its thermal conductivity directly limits the heat dissipation performance of micro / nano devices, thus affecting the reliability of the devices. It is very important to study the thermo-physical properties of thin films for the fabrication of semiconductor devices and the design of integrated circuits. In this paper, the measurement methods of thermal conductivity of thin film materials are reviewed, and the microstructure model of thin films is analyzed. The feasibility of the thermal conductivity measurement method is analyzed, which provides a technical reference for the measurement of the thermal properties of thin film materials.
【作者单位】： 中国科学院上海高等研究院薄膜光电工程技术研究中心;中国科学院大学;
【基金】：中国科学院国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划对本项目的大力支持
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0引言随着微纳器件向高速、低功耗、高集成度发展,微纳尺度条件下热传导问题尤为重要[1]。薄膜材料在微纳器件制造中不可或缺,薄膜材料的热导率直接影响器件的散热性能,进而对其可靠性以及运行速度也会有较大的影响。因此,提高薄膜材料的热导率,让微纳器件始终在最优温度下运

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本文编号：1459350