电容式微机械超声换能器的信号调理电路设计

发布时间：2018-02-11 08:11

  本文关键词： 电容式微机械超声换能器 微弱信号 信号调理电路 收发一体　出处：《电测与仪表》2017年07期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：针对电容式微机械超声换能器(cMUT)的工作原理和检测要求,分析了换能器微弱回波信号的处理方法,设计了性能良好的信号调理电路,有效的解决了在实际应用中换能器模式转换和微弱信号调理的关键问题和首要难题。通过对电路系统的测试,实验结果表明该电路具有良好的线性和稳定性,且其带宽为1.53×108Hz,灵敏度为0.161 mV/pF,分辨率为1 nA;其不仅实现了换能器收发一体及微弱信号调理的功能,而且还为换能器水下超声成像系统的建立奠定了基础。
[Abstract]:According to the principle of capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUTs) and the testing requirements, the processing method of the weak echo signal of the transducer is analyzed, and the signal conditioning circuit with good performance is designed. It effectively solves the key problems and primary problems of transducer mode conversion and weak signal conditioning in practical application. The experimental results show that the circuit has good linearity and stability through the test of the circuit system. The bandwidth is 1.53 脳 10 ~ 8 Hz, the sensitivity is 0.161 MV / PF, and the resolution is 1 na, which not only realizes the functions of transducer transceiver and weak signal conditioning, but also lays a foundation for the establishment of underwater ultrasonic imaging system of transducer.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;
【基金】：国家杰出青年科学基金项目(61525107) 国家重点研发项目(2016YFC0101900)
【分类号】：TB552

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