微薄膜多场耦合非线性振动分析

发布时间：2018-03-04 01:22

  本文选题：分子力　切入点：多场耦合　出处：《振动与冲击》2017年23期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：将微谐振压力传感器谐振薄膜简化为微薄膜多场耦合系统,给出考虑分子力作用时微薄膜多场耦合动力学方程,利用Linz Ted-Poincaré方法求得其非线性振动固有频率与振型方程,研究了分子力对薄膜非线性固有频率及自由振动的影响规律,利用微加工技术制作出谐振薄膜,利用静电激励-电容检测方法对薄膜非线性固有频率进行了测试。结果表明:当薄膜尺寸较小时,分子力对于微薄膜多场耦合非线性振动的固有频率具有较大影响。研究结果对于压力传感器进一步微型化具有指导意义。
[Abstract]:The resonant film of micro resonant pressure sensor is simplified as a multi field coupling system of micro film, and the dynamic equation of multi field coupling of micro film considering molecular force is given. The natural frequency and mode equation of nonlinear vibration are obtained by Linz Ted-Poincar 茅 method. The influence of molecular force on the nonlinear natural frequency and free vibration of the thin film is studied. The nonlinear natural frequency of the thin film is measured by electrostatic excitation-capacitance measurement method. The results show that when the film size is small, The molecular force has great influence on the natural frequency of multi-field coupled nonlinear vibration of microfilm, and the research results have a guiding significance for the further miniaturization of the pressure sensor.
【作者单位】： 燕山大学机械工程学院;
【基金】：河北省重点基础研究项目(13961701D) 河北省博士研究生创新资助项目(CXZZBS2017043)
【分类号】：O484.2;TP212

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本文编号：1563540