研究人员提出金属陶瓷超材料薄膜制备新方法

发布时间：2018-03-24 12:33

  本文选题：超材料　切入点：薄膜制备　出处：《润滑与密封》2017年03期

【摘要】：正中国科学院宁波材料技术与工程研究所提出了一种金属陶瓷超材料薄膜制备新方法,该方法采用传统的射频共溅射沉积工艺,辅以衬底偏压,制备了定向排布Ag金属纳米线/氧化铝陶瓷复合超材料薄膜,纳米线间距(轴心到轴心)进入sub-5 nm区间,阵列中纳米线平均直径约为3 nm;纳米线长径比可根据沉积时间来灵活调整;利用PVD
[Abstract]:The Institute of Materials Technology and Engineering, Ningbo Institute of Chinese Academy of Sciences, has proposed a new method for the preparation of metamaterials thin films. The method is based on the conventional RF co-sputtering technique, supplemented by substrate bias. The Ag nanowires / alumina ceramic composite supermaterial films were prepared. The nanowire spacing (axis to axis) entered the sub-5 nm region. The average diameter of nanowires in the array is about 3 nm. The aspect ratio of nanowires can be adjusted flexibly according to deposition time. PVD is used
【分类号】：TB383.2

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