光学显微三维测量解耦合准则

发布时间：2018-04-13 14:03

  本文选题：解耦合准则 + 光学显微测量　； 参考：《红外与激光工程》2017年03期

【摘要】：光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则。
[Abstract]:The coupling effect of three dimensional optical microscopy is a phenomenon that the accuracy of height measurement of grooves or step samples is affected by the transverse period.Using convolution discorrelation principle and finite energy loss principle, a decoupling model of optical microscopic 3D measurement for thin and deep grooved samples is established, and the correlation between the characteristic parameters and the characterization ability of optical instruments is revealed.Compared with the existing W / 3 criterion, the optical microscope three-dimensional measurement decoupling criterion can objectively reflect the influence of the variation of the sample structure on the characterization ability of the optical instrument, indicating the indication value region of the height measurement decoupling evaluation.The principle error of predicting height measurement provides a new metrological evaluation criterion for the three-dimensional structure characterization of grooves or step samples.
【作者单位】： 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发项目(2011YQ040087) 国防工业基础研究项目(2013xe0873) 国家自然科学基金(51275121)
【分类号】：TB96

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