基于PET基底近红外电磁屏蔽膜的研究
本文选题：电磁屏蔽 + 金属网栅 ； 参考：《长春理工大学》2017年硕士论文
【摘要】：目前空间电磁环境日趋复杂化,为满足光学器件透可见/红外波段屏蔽电磁波的要求,本文研究在PET柔性基底上制作金属网栅电磁屏蔽膜。通过分析网栅参数对其电磁屏蔽效率及透过率的影响,优化设计网栅结构。针对PET基底的柔性特点及其热稳定性,经试验研究优化光刻工艺中的各工序参数并解决参数间的匹配问题,从而得到所需的图形结构。对比了热蒸发和磁控溅射法制备金属膜的牢固性和膜层质量,采用磁控溅射法制备电磁屏蔽膜,通过优化溅射功率、溅射气压等参数使膜/基结合更牢固。最后在PET基底上得到线宽为9μm,周期为160μm的金属网栅电磁屏蔽膜,其在400~2000nm波段的透过率为73%;在2~18GHz频段的电磁屏蔽效率为15dB以上。
[Abstract]:At present, the space electromagnetic environment is becoming more and more complicated. In order to meet the requirements of optical devices to screen electromagnetic waves in the visible / infrared band, this paper studies the fabrication of metal grid electromagnetic shielding films on PET flexible substrates. By analyzing the influence of grid parameters on the electromagnetic shielding efficiency and transmittance, the grid structure is optimized. According to the flexibility and thermal stability of PET substrate, the process parameters in lithography process are optimized and the matching problem between parameters is solved. The stability and film quality of metal films prepared by thermal evaporation and magnetron sputtering were compared. The electromagnetic shielding films were prepared by magnetron sputtering. The film / substrate bonding was strengthened by optimizing sputtering power, sputtering pressure and other parameters. Finally, a metal grid electromagnetic shielding film with a linewidth of 9 渭 m and a period of 160 渭 m was obtained on the PET substrate, with a transmittance of 73 in the 400~2000nm band and an electromagnetic shielding efficiency of more than 15dB in the 2~18GHz band.
【学位授予单位】：长春理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2017
【分类号】：TB383.2;O441.4
【参考文献】
相关期刊论文 前10条
1 冯晓国;张舸;汤洋;;薄膜型金属网栅的电磁屏蔽特性[J];光学精密工程;2015年03期
2 王俊;郝赛;;磁控溅射技术的原理与发展[J];科技创新与应用;2015年02期
3 周全;汪岳峰;魏大鹏;;AuCl_3掺杂石墨烯的电磁屏蔽特性研究[J];光学仪器;2014年05期
4 李志鹏;;电磁辐射污染与电磁辐射环境保护[J];环境与生活;2014年10期
5 周辉;杨海峰;;光刻与微纳制造技术的研究现状及展望[J];微纳电子技术;2012年09期
6 张凯华;董连和;孙艳军;冷雁冰;陈哲;;柱面微透镜阵列用于提高OLED图像质量的研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2012年02期
7 陈朝平;师建涛;郭芮;白波;杨崇民;郭鸿香;;中红外带通滤光片的设计与制备[J];应用光学;2012年03期
8 刘小涵;赵晶丽;冯晓国;申振峰;高劲松;张红胜;;高透光率感性网栅膜的电磁屏蔽[J];光学精密工程;2012年01期
9 李颖;王鸿博;高卫东;;碳纤维表面磁控溅射镀铜研究[J];化工新型材料;2011年12期
10 张运强;潘国庆;李福巍;;金属网栅电磁屏蔽薄膜在红外空空导弹上的应用研究[J];红外技术;2010年07期
相关博士学位论文 前2条
1 杨磊;红外透明导电氧化物薄膜的制备及光电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2015年
2 陆振刚;基于圆环和双层金属网栅结构的光学窗电磁屏蔽方法研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
相关硕士学位论文 前3条
1 韩余;基于随机裂缝掩模的金属网栅透明导电膜研究[D];哈尔滨工业大学;2015年
2 曹江田;亚微米光刻质量的控制技术研究[D];电子科技大学;2010年
3 王长伟;金属网栅用于隐身技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
，本文编号：1830867
本文链接：https://www.wllwen.com/guanlilunwen/gongchengguanli/1830867.html
