沉积温度对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

发布时间：2018-05-25 15:01

  本文选题：基底温度 + 薄膜　； 参考：《吉林大学学报(理学版)》2016年02期

【摘要】：采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜,研究温度对VC薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响,并分析其内在关系.结果表明,沉积温度升高对VC薄膜的相结构和摩擦系数影响较小,有利于降低薄膜中的应力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
[Abstract]:The effect of temperature on the microstructure, mechanical properties and friction and wear properties of VC thin films was studied by magnetron sputtering technique. The results show that the increase of deposition temperature has little effect on the phase structure and friction coefficient of VC film, which is beneficial to reduce the stress and roughness in the film and to improve the hardness of the film.
【作者单位】： 长春工程学院勘查与测绘工程学院;长春师范大学物理学院;吉林大学材料科学与工程学院;
【基金】：吉林省教育厅“十二五”科学技术研究项目(批准号:2014-326) 吉林省科技厅基金项目(批准号:2014-0101061JC)
【分类号】：TB383.1;TB383.2

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本文编号：1933604