干冰微粒喷射技术综述

发布时间：2018-06-08 22:27

  本文选题：干冰微粒 + 喷射　； 参考：《真空科学与技术学报》2016年08期

【摘要】：干冰微粒喷射技术是近三十年来逐渐发展起来的一种新型表面处理技术,多用于精细表面的清洗和抛光。本文综述了干冰微粒喷射技术的发展历程、原理、设备构成、技术参数和应用领域,重点对干冰微粒的凝结与碰撞、瞬态二氧化碳的溶解作用、其在真空领域的应用进行了讨论。评述了干冰微粒喷射技术的有效性,对其仍然存在的关键问题以及今后的研究方向进行展望。对干冰微粒喷射技术的基础研究、应用探索、参数优化具有参考意义。
[Abstract]:Dry ice particle injection technology is a new surface treatment technology developed gradually in the last thirty years. It is used for cleaning and polishing of fine surface. This paper summarizes the development process, principle, equipment composition, technical parameters and application fields of dry ice particle injection technology, focusing on the condensation and collision of dry ice particles and transient carbon dioxide. The application of dissolution in the field of vacuum is discussed. The effectiveness of dry ice particle injection technology is reviewed. The key problems still exist and the future research direction are prospected. The basic research, application exploration and parameter optimization have reference significance for the dry ice particle jet technology.
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【分类号】：TB490

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本文编号：1997435