基于反射差分显微术的有机薄膜空间均一性研究

发布时间：2018-06-24 08:47

  本文选题：反射差分显微术 + 各向异性　； 参考：《红外与毫米波学报》2017年06期

【摘要】：有机薄膜半导体器件在微电子和光电子领域具有重要的研究与应用价值,其成膜质量是影响器件性能的重要因素,如空间分布的均一性.采用反射差分显微测量方法,对各向异性基底上生长的并五苯薄膜的反射差分显微图像进行分析,研究了该薄膜参数空间分布的非均一性,同时展示了反射差分显微术在薄膜制备检测及工艺研究的应用价值.
[Abstract]:Organic thin film semiconductor devices have important research and application value in the field of microelectronics and optoelectronics. The film quality is an important factor affecting the performance of the devices, such as the uniformity of spatial distribution. The reflection differential micromeasurement method is used to analyze the reflection differential microimages of the five benzene film grown on the anisotropic substrate. The heterogeneity of the spatial distribution of the film parameters was studied, and the application value of reflection differential microscopy in film preparation, detection and process research was demonstrated.
【作者单位】： 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;成都工业学院机械工程学院;
【基金】：国家重点研发计划项目(2016YFB1102203) 优博论文作者专项资金资助项目(201140) 国家自然科学基金(61008028) 教育部留学回国人员科研启动基金资助项目~~
【分类号】：O484

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本文编号：2060884