不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响

发布时间：2018-12-16 23:23

【摘要】：针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10~(-6)Pa·m~3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。
[Abstract]:In view of the fact that the leakage rate of most standard holes is at He and the inlet pressure is 100 kPa, the standard vacuum leakage rate of 2.3 脳 10 ~ (-6) Pa / m ~ (3 / s) has been calibrated by constant volume pressure method. Leakage rate at different inlet pressures for three gases D _ 2. After heating and degassing the system background leakage rate was calculated and the effect of background leakage rate on calibration leakage rate was discussed. The effects of different gas and hole inlet pressure on leakage rate were studied by means of viscosis-molecular flow theory.
【作者单位】： 表面物理与化学重点实验室;四川大学原子与分子物理研究所;中国工程物理研究院;
【分类号】：TB77

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 冯焱,张建军,张涤新;温度对薄膜渗氦型漏孔漏率的影响研究[J];真空与低温;2001年04期

2 肖祥正;环境温度对压降法漏率测试的影响[J];真空与低温;2002年03期

3 郑天丕;方珍;;学习术语——漏率[J];机电元件;2009年02期

4 李殿东;高真空阀门漏率和升压率的区别[J];真空;2003年06期

5 朱佃功;漏率校准器及其选用[J];真空电子技术;1995年01期

6 陈叔平,昌锟,刘振全,谢高峰,葛瑞宏,刘志东;贮箱漏率正压检测方法[J];低温与超导;2005年03期

7 朱会学;马林;李锦云;;压降检漏过程中温度对漏率检测影响研究[J];机床与液压;2010年13期

8 毛福明,张晓兵;压差式漏率测试仪的实验研究[J];真空科学与技术;1995年02期

9 张涤新,冯焱,张建军,郭美如,沈辉;比对法漏率校准装置[J];真空;2002年04期

10 陈叔平;昌锟;徐树深;刘志东;葛瑞宏;;贮箱正压漏率检测装置[J];兰州理工大学学报;2006年02期

相关会议论文 前10条

1 李锁印;张连柱;王亚军;;怎样准确获得元器件漏率[A];中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会及中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会论文（摘要）集[C];2001年

2 刘志东;冯毅明;;高压与真空漏率的探讨[A];第二届全国真空检漏技术工业应用研讨会论文集[C];2000年

3 费渭南;;国内真空漏率的比对工作[A];中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会及中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会论文（摘要）集[C];2001年

4 薛大同;肖祥正;王庚林;;密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件[A];中国真空学会2012学术年会论文摘要集[C];2012年

5 梁智岷;吴根发;胡细毛;杨春雷;李晓成;尚会川;张文丽;;真空漏率校准装置的研制[A];中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会论文摘要集[C];2004年

6 梁智岷;吴根发;胡细毛;杨春雷;李晓成;尚会川;张文丽;;真空漏率校准装置的研制[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年

7 王庚林;王莉研;董立军;;氦质谱细检漏标准的漏率判据及改进分析[A];第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会摘要及论文集[C];2007年

8 吴孝俭;;对检漏仪漏率直读的一些看法[A];第二届全国真空检漏技术工业应用研讨会论文集[C];2000年

9 吴孝俭;;对检漏仪漏率直读的一些看法[A];中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会及中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会论文（摘要）集[C];2001年

10 薛大同;;氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年

，

本文编号：2383225