Ƭ״̼Դ΢²¨ºÏ³ÉSiC·ÛÌåµÄ¹¤ÒÕ¼°»úÀíÑо¿

·¢²¼Ê±¼ä£º2020-05-23 05:17
¡¾ÕªÒª¡¿£ºÎ¢²¨¼ÓÈȾßÓпìËÙ¡¢»·±£¡¢½ÚÄܵÈÓŵ㡣ÀûÓÃ΢²¨¼ÓÈȼ¼ÊõºÏ³É̼»¯¹è(SiC)·ÛÌåÒѳÉΪ¹úÄÚÍâµÄÑо¿Öصã,µ«Ä¿Ç°Ö÷Òª²ÉÓÿÅÁ£×´Ì¼Ô´ºÏ³ÉSiC,ÔÚ¼ÓÈȹý³ÌÖÐ,¿ÅÁ£×´Ì¼Ô´ÎüÊÕ΢²¨²úÉúÃÖÉ¢·Ö²¼µÄÈȵã,ÈÈÁ¿²»¼¯ÖÐÇÒÈÈ´«µ¼ÊÜÏÞ,µ¼ÖÂSiCµÄºÏ³ÉÖÜÆڽϳ¤¡£±¾ÎÄÒÔʯīֽΪƬ״̼Դ,ÀûÓÃÈܽº-Äý½º·¨Ë®½âÕý¹èËáÒÒõ¥(TEOS)ÖƱ¸SiO_2°ü¹üSiC¾§ÖÖ×÷Ϊ¹èÔ´,Éè¼ÆÁ½ÖÖ·ÛÄ©³ÉÐÍ·½·¨ÖƱ¸Ô¤ÉÕÑùÆ·,²ÉÓÃ΢²¨¼ÓÈȺϳÉÁËSiC¡£Ñо¿Á˼ÓÈÈζȡ¢Ê¯Ä«Ö½²ãÊý¡¢¾§ÖÖº¬Á¿ºÍ±£ÎÂʱ¼ä¶Ô΢²¨ºÏ³ÉSiCµÄÓ°Ïì,²ûÃ÷ÁËƬ״̼Դ΢²¨ºÏ³ÉSiCµÄ¼ÓÈÈ»úÀí¡£Ñо¿½á¹û±íÃ÷:¼ÓÈÈζÈÓ°ÏìSiCµÄºÏ³É;Õë×´SiC¾§ÐëÔÚ1300¡æºÏ³É;°ôé³×´SiC¾§ÐëÔÚ1400¡æºÏ³É;ÔÚ1500¡æµÄ¼ÓÈÈζÈÏÂSiC¾§ÐëÑõ»¯·Ö½âΪSiC¿ÅÁ£¡£Ê¯Ä«Ö½²ãÊýÓ°ÏìSiCµÄºÏ³É;ÔÚ5²ãʯīֽÏÂ,²úÎïÖгýÁËÓÐSiC¿ÅÁ£ºÏ³É,»¹ÓÐSiÄÉÃ×ÏßÉú³É;ÔÚ30²ãʯīֽÏÂ,²úÎïÖкϳÉÁ˳¤Îª10~15¦Ìm,¿íΪ0.8~1¦ÌmµÄSiC¾§Ðë¡£¾§ÖÖº¬Á¿Ó°ÏìSiCµÄºÏ³É;»¨´Ø×´µÄSiC¿ÅÁ£ÔÚ¾§ÖÖº¬Á¿Îª0 wt%ʱ²úÉú;¾§ÖÖº¬Á¿Îª2 wt%ʱ,²úÎïÖкϳÉÁËSiCÄÉÃ×Ïß¡£±£ÎÂʱ¼äÓ°ÏìSiCµÄºÏ³É;ÔÚ30 minµÄ±£ÎÂʱ¼äÏÂ,²úÎïÖкϳÉÁË°ô×´SiC;120 minµÄ³¤±£ÎÂʱ¼äµ¼ÖÂSiCµÄÑõ»¯·Ö½â¡£ÔÚ΢²¨¼ÓÈȹý³ÌÖÐ,ÈÈЧӦºÍ·ÇÈÈЧӦ¶¼ÓÐÖúÓÚ΢²¨¼ÓÈȺϳÉSiC¡£Ïà±ÈÊÜÏÞÈÈ´«µ¼Ä£Ê½,·ÇÊÜÏÞÈÈ´«µ¼Ä£Ê½ÖÐ,SiCµÄÉú³¤Ïà¶Ô½ÏºÃ¡£
¡¾Í¼ÎÄ¡¿£º

ʾÒâͼ,Ë«Ô­×Ó,ʾÒâͼ


ͼ 1.1 3C-SiC¡¢4H-SiC¡¢6H-SiC ºÍ 15R-SiC ÖÐ C-Si Ë«Ô­×Ó²ãÅÅÁÐʾÒâͼFigure 1.1 Schematic diagram of C-Si diatomic layer arrangement in 3C-SiC, 4H-SiC,6H-SiC and 15R-SiC1.3 SiC µÄÐÔÄÜÓëÓ¦ÓÃSiC µÄĪÊÏÓ²¶ÈΪ 9.2~9.5£¬¸ßÓÚ¸ÕÓñ£¬µÍÓÚ½ð¸ÕʯºÍ̼»¯Å𣬹㷺ÓÃ×öÄ¥ÁÏÄ¥¾ß²ÄÁÏ£¬²»µ«ÊÇÉÏÊÀ¼Í 90 Äê´ú¹úÄÚÍâÄ¥ÁÏÄ¥¾ßÐÐÒµµÄÖ§³Å²ÄÁÏ£¬¶øÇÒ»¹ÊÇ»úе¼Ó¹¤ÐÐÒµ¹Ø¼ü²ÄÁÏ£»»¯Ñ§Îȶ¨ÐԺ㬣¬µÖ¿¹Ëá¼î¸¯Ê´ÄÜÁ¦Ç¿£¬Í¨³£ÓÃ×ö¸´ÔÓ»·¾³Ä͸¯Ê´Í¿²ã²ÄÁÏ£»Èȵ¼Âʸߣ¬±¥ºÍµç×ÓƯÒÆËٶȿ죬ÓÃ×öÄÍ»ð²ÄÁÏ¡¢·¢ÈÈÌåºÍ»»ÈÈÆ÷²ÄÁÏ£»½û´ø¿í¶È´ïµ½ 2.3~3.3 eV£¬ÄÜ´ø¼ä϶¿í£¬¿¹·øÉäÐÔÓÅÁ¼£¬¿ÉÒÔÌæ´ú Si Ó¦ÓÃÓÚ¸ßƵÂÊ¡¢¸ß¹¦Âʺ͸ßιâµç×ÓÆ÷¼þ£»ÁÙ½ç»÷´©³¡Ç¿¸ß£¬¿ÉÓÃ×öÉù±íÃ沨¹¦ÄÜÆ÷¼þ£»Ãܶȵͣ¬ÈÛµã¸ß£¬ÈÈÎȶ¨ÐԺ㬳£³£ÓÃ×÷¸´ºÏ²ÄÁϵÄÔöÇ¿¼Á£»¾ßÓÐÓ«¹âÐÔÄÜ£¬¿ÉÒÔÓÃ×ö¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ß¾«È·¶È¡¢¸ß¿É¿¿ÐÔµÄоƬ¹â×ÓÆ÷¼þ£¬ÊÇпƼ¼¸ïÃüºÍ²úÒµ±ä¸ïµÄÖØ´óÕ½ÂÔÖ§³Å²ÄÁÏ¡£Òò´Ë£¬×÷ΪһÖÖÐÔÄÜÓÅÔ½µÄ½á¹¹¹¦ÄÜÒ»Ì廯²ÄÁÏ£¬

ÎüÊÕ״̬,²ÄÁÏ,ÎüÊÕÌå


µÚÒ»Õ Ð÷ ÂÛ²ÄÁ϶Ô΢²¨µÄ²»Í¬ÎüÊÕ״̬£¬²ÄÁÏ¿É·ÖΪËÄ´óÀà[68]£¬Èçͼ 1.2 Ëùʾ¾ßÓнϵ͵ĽéµçËðºÄÄÜÁ¦£¬²ÄÁϲ»ÎüÊÕ΢²¨£¬·´¶ø΢²¨ÍêÕû͸¹ý²ÄÌ壬ÀýÈ磺ÌØ·úÁú¡¢Ê¯Ó¢µÈ£»(b)ÎüÊÕÌ壺¾ßÓи߽éµçËðºÄÄÜÁ¦£¬Î¢ÍêÈ«ÎüÊÕ£¬ÀýÈ磺ˮ¡¢SiC µÈ£»(c)·´ÉäÌ壺΢²¨ÔÚ²ÄÁϱíÃæÈ«²¿±»·´µÄÄÜÁ¿¿ÉÒÔºöÂÔ£¬ÀýÈ磺ËùÓнðÊô¿éÌ壻(d)»ìºÏÎüÊÕÌ壺Ö÷ÒªÊÇÏȺϲÄÁÏ»ò¶àÏà²ÄÁÏ£»ÆäÖÐÖÁÉÙÓÐÒ»Ïà×÷Ϊ¸ßËðºÄÎüÊÕÌ壬¶øÆäËû²ÄÔµÌ壬ÕâÀà²ÄÁÏͨ¹ý¾Ö²¿ÎüÊÕ΢²¨Íê³ÉÄÜÁ¿µÄת»»£¬ÀýÈ磺¾ÛºÏÎïMC)¡¢ÌÕ´É»ù¸´ºÏ²ÄÁÏ(CMC)¡¢½ðÊô»ù¸´ºÏ²ÄÁÏ(MMC)¡£
¡¾Ñ§Î»ÊÚÓ赥λ¡¿£ºÖ£Öݺ½¿Õ¹¤Òµ¹ÜÀíѧԺ
¡¾Ñ§Î»¼¶±ð¡¿£ºË¶Ê¿
¡¾Ñ§Î»ÊÚÓèÄê·Ý¡¿£º2019
¡¾·ÖÀàºÅ¡¿£ºTQ163.4;TB383.3

¡¾ÏàËÆÎÄÏס¿

Ïà¹ØÆÚ¿¯ÂÛÎÄ Ç°10Ìõ

1 Ô¬Ñó;;΢²¨ºÏ³É¼¼ÊõÔÚõ¥»¯·´Ó¦ÖеÄÓ¦ÓýøÕ¹[J];»¯¹¤¹ÜÀí;2015Äê05ÆÚ

2 ÀîÑó;ȽÐñ;¹¶Á¢;Ƚ¾ù¹ú;;΢²¨ºÏ³É²ôïÈôÇ»ùÁ×»Òʯ[J];»¯¹¤½øÕ¹;2007Äê10ÆÚ

3 ÑîÕ×¹ú;;΢²¨ºÏ³É¼¼Êõ¼°ÔÚÓлúºÏ³ÉÖеÄÓ¦ÓÃ[J];»¯¹¤¹ÜÀí;2016Äê34ÆÚ

4 ×Þ¼ÌÕ×;ÔøÛÆéÅ;Àî¸ý²Å;ÀîÍò¸»;;΢²¨ºÏ³ÉîâËáÄƹ¤ÒÕÑо¿[J];¹ã¶«»¯¹¤;2009Äê08ÆÚ

5 ;Ò»ÖÖÄÉÃ×¼¶îѹè·Ö×ÓɸµÄ΢²¨ºÏ³É·½·¨[J];Öйú·ÛÌ幤ҵ;2010Äê06ÆÚ

6 Éк£Æ¼;ÖÜÑÅÎÄ;´ÞÃ÷»¢;¸¶·É·É;;Èý¾ÛÇè°·¸ßЧ¼õË®¼ÁµÄ΢²¨ºÏ³ÉÓëÐÔÄÜÆÀ¼Û[J];º¼ÖÝ»¯¹¤;2009Äê03ÆÚ

7 ÕźºÁÖ,Áõº«ÐÇ,Å·ÑôÊÀôâ;΢²¨ÔÚÎÞ»ú»¯ºÏÎïºÏ³ÉÖеÄÓ¦ÓÃ[J];²ÄÁϵ¼±¨;1996Äê04ÆÚ

8 Íõµ¤µ¤;ÂÀÔçÉú;ÐìÕä;ÌÆÔ½¿;Íõï־;;±­[4]·¼ÌþßäßòÑεÄ΢²¨ºÏ³É¼°ÔÚ·ú»¯·´Ó¦ÖеÄÓ¦ÓÃ[J];»¯Ñ§ÊÔ¼Á;2017Äê05ÆÚ

9 ÍõÒªÁî;ÀîÏþÑà;ÌïÓþ½¿;;Àë×ÓÒºÌåµÄ΢²¨ºÏ³ÉÑо¿½øÕ¹[J];»¯¹¤ÐÂÐͲÄÁÏ;2016Äê09ÆÚ

10 ÎâÇìÀû;ÕÅÕäÃ÷;»ÆÎľ²;Ì·³¬À¼;ÐìöÎ;ÑîÐÇÓî;ÀîÊ÷°²;;΢²¨ºÏ³É1,4-Ë«(ÁÚëæ»ù±½ÒÒÏ©»ù)±½[J];»¯¹¤Ê±¿¯;2017Äê11ÆÚ

Ïà¹Ø»áÒéÂÛÎÄ Ç°10Ìõ

1 ȽÐñ;ÑϾê;ËÕÝá»Ô;Ƚ¾ù¹ú;³Â¼ÌïÞ;ÂÞ½ÌÃñ;ÕÅÐ˶°;;΢²¨ºÏ³É̼ËữôÇ»ùÁ×»Òʯ·ÛÌå[A];µÚÊ®Îå½ìÈ«¹ú¸ß¼¼ÊõÌÕ´ÉѧÊõÄê»áÕªÒª¼¯[C];2008Äê

2 ÕÅ·ïÐã;;Èó»¬ÓÍÀàôÈËá¶þÒìÐÁõ¥¡¢¶þÔ¹ðõ¥µÄ΢²¨ºÏ³É[A];ÓлúºÏ³É´´Ð¡ª²úÒµ»¯µÄж¯Á¦¡ª¡ªÖйú»¯Ñ§»áÈ«¹úµÚÈý½ìÓлúºÏ³É»¯Ñ§Óë¹ý³ÌѧÊõÌÖÂÛ»áÂÛÎÄÕªÒª¼¯[C];2010Äê

3 ¶Î¼ÑºÀ;ÀîºÍÐË;Ö콨;;C/TiO_2¸´ºÏ²ÄÁϵÄ΢²¨ºÏ³É¼°ÆäÎü¸½¹â´ß»¯ÐÔÄÜÑо¿[A];µÚÆß½ìÈ«¹ú»·¾³»¯Ñ§´ó»áÕªÒª¼¯-S05 ´óÆøÎÛȾÓë¿ØÖÆ[C];2013Äê

4 ³Âì¿Î°;ÑîÕ¹À½;ÁõÃúîÈ;ÏĹúÒ¢;ëìÏ´º;ÎÌÊ«¸¦;Îâ誹â;;΢²¨ºÏ³ÉÔÚÏ¡ÍÁÓ«¹â²ÄÁÏÖƱ¸ÖеÄÓ¦ÓÃ[A];µÚ¾Å½ìÈ«¹ú·¢¹âѧÊõ»áÒéÕªÒª¼¯[C];2001Äê

5 ·®Àö»ª;ºî²Êϼ;ÄôÑô;ÁºÓ¢»ª;ÜÇÓñÀ¼;;ÐÂÐ͹¦ÄÜ»¯Àë×ÓÒºÌåµÄ΢²¨ºÏ³É¼°±íÕ÷[A];µÚÆß½ìÖйú¹¦ÄܲÄÁϼ°ÆäÓ¦ÓÃѧÊõ»áÒéÂÛÎļ¯£¨µÚ2·Ö²á£©[C];2010Äê

6 ÀîÇïÈÙ;ÍõÀöÇï;;΢²¨¶ÔÈâ¹ðËáºÏ³ÉµÄ¸Ä½ø[A];΢ÐÍ»¯Ñ§ÊµÑéר¼­ÂÛÎļ¯[C];2004Äê

7 »ÆË«;ÍõÀ×;ÖÓÉùÁÁ;;ÎýËáîÅÄÉÃ׿ÅÁ£µÄ΢²¨ºÏ³É¼°Æä±íÕ÷[A];2015ÄêÖÐÎ÷²¿µØÇøÎÞ»ú»¯Ñ§»¯¹¤Ñ§ÊõÑÐÌÖ»á»áÒéÂÛÎļ¯[C];2015Äê

8 Áõɽ»¢;½·å;Öì¿¡½Ü;;Ë®ÈÜÐÔÓ«¹âÒøÄÉÃ״صÄ΢²¨ºÏ³É¼°Cr(¢ó)Àë×Ó´«¸ÐÑо¿[A];µÚʮһ½ìÈ«¹úµç·ÖÎö»¯Ñ§»áÒéÂÛÎÄÕªÒª£¨4£©[C];2011Äê

9 ÍõÈð²¨;Ƚ¾ù¹ú;ËÕÝá»Ô;¹¶Á¢;ÄǾê¾ê;;΢²¨ºÏ³ÉÎÞǦѹµçÌÕ´É·ÛÌåµÄÑо¿[A];µÚÊ®Èý½ìÈ«¹ú¸ß¼¼ÊõÌÕ´ÉѧÊõÄê»áÕªÒª¼¯[C];2004Äê

10 ¹ùΪÃñ;ÉòÐDzÓ;¹ùÑÞ·¼;Áººê;;΢²¨ºÏ³É²ôÌúÄÉÃ׶þÑõ»¯îѼ°Æä¹â´ß»¯ÐÔÄÜ[A];Öйú»¯Ñ§»á2005ÄêÖÐÎ÷²¿Ê®ÎåÊ¡£¨Çø£©¡¢ÊÐÎÞ»ú»¯Ñ§»¯¹¤Ñ§Êõ½»Á÷»áÂÛÎļ¯[C];2005Äê

Ïà¹Ø²©Ê¿Ñ§Î»ÂÛÎÄ Ç°7Ìõ

1 ºúÏþÁ¦;ÄÉÃ×TiO_2³¬Ï¸·ÛµÄÖƱ¸¼°îѵĵª»¯ÎïºÍ̼»¯Îï·ÛÌåµÄ΢²¨ºÏ³É[D];»ªÄÏÀí¹¤´óѧ;1997Äê

2 ÔøÉо°;ÂÌÉ«ºÏ³É·Ðʯ·Ö×Óɸ¼°¶à¼¶¿×²ÄÁÏ[D];¼ªÁÖ´óѧ;2016Äê

3 ÕÅ·ïÐã;Èó»¬ÓÍÀàôÈËáõ¥µÄÂÌÉ«ºÏ³É¡¢¹â½µ½âÌØÐÔ¼°Æä¶ÔÍÁÈÀÉú̬µÄÓ°Ïì[D];Î÷ÄÏ´óѧ;2009Äê

4 ÏÄÇìÁÖ;ÐÂÐͳ¬µ¼²ÄÁϵÄÖƱ¸¡¢³¬µ¼µçÐÔ¼°µç×ӽṹºÍµ¯ÐÔÐÔÖÊÑо¿[D];ÖÐÄÏ´óѧ;2011Äê

5 ¹ùÏò·å;éÏé­Ê¯LiFePO_4×÷Ϊ﮶þ´Îµç³ØÕý¼«²ÄÁϵÄÑо¿[D];Î人´óѧ;2009Äê

6 »Æ½ðƼ;½ðÊôÓлú¿ò¼Ü£¨MOF£©»¯ºÏÎïµÄºÏ³É¼°´ß»¯Ë®½éÖÊÇå½àÓлú·´Ó¦µÄÑо¿[D];ÉϺ£Ê¦·¶´óѧ;2013Äê

7 ÂÀÕ×Ƽ;ËÄÀàßÁऻ¯ºÏÎïµÄºÏ³ÉÓëÉúÎï»îÐÔÑо¿[D];ÄϾ©Å©Òµ´óѧ;2007Äê

Ïà¹Ø˶ʿѧλÂÛÎÄ Ç°10Ìõ

1 ¶­³Â½­;Ƭ״̼Դ΢²¨ºÏ³ÉSiC·ÛÌåµÄ¹¤ÒÕ¼°»úÀíÑо¿[D];Ö£Öݺ½¿Õ¹¤Òµ¹ÜÀíѧԺ;2019Äê

2 ÕÅè¤Æ¼;ÒºÏàÓÕµ¼Î¢²¨ºÏ³ÉSiC¹¤ÒÕÑо¿[D];Ö£Öݺ½¿Õ¹¤Òµ¹ÜÀíѧԺ;2019Äê

3 ³ÑÞ·É;΢²¨ºÏ³ÉSiCµÄÈȶ¯Á¦Ñ§¹ý³Ì¼°»úÀíÄ£ÄâÑо¿[D];Ö£Öݺ½¿Õ¹¤Òµ¹ÜÀíѧԺ;2018Äê

4 ¸ßÇß;±ûÏ©Ëá-4-ôǶ¡õ¥µÄ΢²¨ºÏ³É¼°ÔÚÍ¿ÁÏÊ÷Ö¬ÖƱ¸ÖеÄÓ¦ÓÃ[D];ÉÂÎ÷¿Æ¼¼´óѧ;2018Äê

5 ¸ßÄþ;΢²¨ºÏ³É¸ÄÐÔSAPO-34·Ö×Óɸ¼°MTO´ß»¯ÐÔÄÜÑо¿[D];Öйú¿óÒµ´óѧ;2018Äê

6 Úȱù;¼¸ÖÖÎÞ»ú²ÄÁϵÄ΢²¨ºÏ³É¼°±íÕ÷[D];ôßÄÏ´óѧ;2015Äê

7 Ôø¹úƺ;¹è»ù½é¿×²ÄÁϵÄ΢²¨ºÏ³ÉÓë±íÕ÷[D];¸£ÖÝ´óѧ;2006Äê

8 ÍõÏþÐý;ßäßò²¢£Û2£¬1-b£ÝàçßòÑÜÉúÎïµÄ΢²¨ºÏ³ÉºÍÖصªÒÒËáÒÒõ¥µÄ×ԷֽⷴӦÑо¿[D];À¼ÖÝ´óѧ;2010Äê

9 ÌÕÍò¿â;΢²¨ºÏ³É¼¼ÊõÖƱ¸Cu_2ZnSnS_4°ëµ¼ÌåÄÉÃ×¾§¼°ÆäÐÔÄÜÑо¿[D];¹ã¶«¹¤Òµ´óѧ;2016Äê

10 κÁÕ;¾ÛÌ춬°±Ëá΢²¨ºÏ³ÉµÄ¸Ä½øÓëÎÛȾ¿ØÖÆÑо¿[D];¶«±±Å©Òµ´óѧ;2009Äê



±¾ÎıàºÅ£º2677202

×ÊÁÏÏÂÔØ
ÂÛÎÄ·¢±í

±¾ÎÄÁ´½Ó£ºhttps://www.wllwen.com/guanlilunwen/gongchengguanli/2677202.html


Copyright(c)ÎÄÂÛÂÛÎÄÍøAll Rights Reserved | ÍøÕ¾µØͼ |

°æȨÉêÃ÷£º×ÊÁÏÓÉÓû§30399***Ìṩ£¬±¾Õ¾½öÊÕ¼ժҪ»òĿ¼£¬×÷ÕßÐèҪɾ³ýÇëE-mailÓÊÏäbigeng88@qq.com