基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计

发布时间：2021-01-13 08:46

　　针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2020,40(07)北大核心

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 分子泵抽速的测量原理及装置
    1.1 流量法测量分子泵抽速测量原理
    1.2 分子泵抽速测试装置原理结构
2 分子泵抽速测试系统软件设计
    2.1 测量仪器数据通信设计
    2.2 数据采集设计
    2.3 压强控制算法设计
        2.3.1 PID控制器的基本结构
        2.3.2 继电反馈PID自整定方法
    2.4 人机界面设计
3 测试结果与分析
    3.1 压强控制
    3.2 抽速测试


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于虚拟仪器的高速混合信号自动测试系统设计[J]. 俞宙,李静,魏亚峰,骆才学.  仪器仪表学报. 2016(S1)
[2]基于LabVIEW的PID自整定控制器设计[J]. 杨智,陈雨琴.  化工自动化及仪表. 2015(11)
[3]复合型便携式真空计校准装置[J]. 卢耀文,陈旭,李得天,齐京,查良镇.  真空. 2013(03)
[4]便携式真空计校准装置[J]. 卢耀文,陈旭,李得天,齐京,查良镇.  真空科学与技术学报. 2013(05)
[5]现代涡轮分子泵的进展[J]. 巴德纯,王晓冬,刘坤,杨乃恒.  真空. 2010(04)
[6]基于虚拟仪器技术的电磁阀综合特性测控系统[J]. 郭北涛,柳洪义,曹阳,罗忠,王菲.  仪器仪表学报. 2010(02)
[7]扩散真空泵性能自动测试系统的研制[J]. 梁文升,张世伟,张志军,徐成海.  真空. 2009(06)
[8]基于LabVIEW的换热器性能试验装置测控系统的开发[J]. 王晓,张宝怀.  机械工程学报. 2009(04)
[9]基于LabVIEW的高阻自动测量系统[J]. 耿国磊,别红霞.  电子测量与仪器学报. 2009(03)
[10]基于虚拟仪器的高载条件下MEMS动态测试系统[J]. 孙屹博,王晓东,佘东生,王涛,王立鼎.  仪器仪表学报. 2009(01)



本文编号：2974589