YBCO超导带材的MOCVD工艺及Zr掺杂特性的研究

发布时间：2021-03-11 14:14

　　近年来,以YBCO为代表的二代高温超导带材得到了广泛的研究,高性能的YBCO超导带材在高场磁体、大电流输送等方面均有重要的应用价值。MOCVD技术由于具有沉积速率高、结晶质量好等特点,目前在生长半导体器件方面得到了广泛应用,用来生长高温超导层是个很有挑战性的领域,对于YBCO带材的商业化具有非常重要的意义。本论文以LaMnO3/homo-epi MgO/IBAD-MgO/SDPY2O3/Hastelloy alloy作为YBCO超导层的衬底基带,采用MOCVD技术来展开对超导薄膜工艺的研究。研究内容主要包括以下几个方面:1、超导层的MOCVD工艺研究,分别从三种金属有机源的配比、基带加热温度、薄膜厚度这几个方面来展开。研究结果表明:在一定范围内提高Y（tmhd）3含量对YBCO薄膜的面内面外生长情况影响较小,但能有效提高YBCO薄膜表面的平整度;Ba含量的增加会使薄膜中a轴方向生长加剧,临界电流密度降低;增加有机源中Cu的比例,会减少薄膜表面的孔洞,改善薄膜的致密性,同时也会导致a轴晶粒增多,Jc值降低。而温度实验结论是通过对不同加热电流下制得的薄膜结构和形貌的分析得知,加热电流低时,... 

【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：75 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

超导体的发展历程

（a） （b）图 1-2 YBCO 的缺氧型钙钛矿结构。（a）正交相；（b）CuO2面和 CuO 链CO 是含有多种金属元素的交替层状结构，具有各向异性，即 YB表面的外延生长有多种可能，通常会沿着 c 轴方向、a 轴方向，还有

YBCO薄膜最常见的外延生长取向（a）c轴取向（b）a轴取向（c）其它取向

【参考文献】：
期刊论文
[1]Epitaxial growth of MOCVD-derived YBCO films by modulation of Cu（tmhd）2 concentration[J]. Jie Xiong,Fei Zhang,Xin Liu,Rui-Peng Zhao,Xiao-Hui Zhao,Bo-Wan Tao.  Rare Metals. 2014(01)
[2]YBCO超导带材研究进展[J]. 陶伯万,熊杰,刘兴钊,李言荣.  中国材料进展. 2009(04)



本文编号：3076597