溅射离子泵抽气单元放电及离子输运仿真

发布时间：2021-04-22 19:36

　　基于有限元法,对溅射离子泵抽气单元内气体放电及离子输运过程进行了研究.采用商业软件COM SOL M ultiphysics将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到阳极筒内电子密度的分布规律.研究了气体压强、阳极电压、磁场强度等参数对电子密度的影响,追踪了离子在不同压强下的运动轨迹,得到了离子对阴极板的入射角度和冲击能量.将仿真结果代入到理论抽速计算公式中,所得结果与实验数据进行对比,两者具有很好的一致性,验证了仿真模型的准确性.对离子泵结构设计和性能优化提供了一种适用方法. 

【文章来源】：东北大学学报(自然科学版). 2020,41(07)北大核心EICSCD

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 溅射离子泵抽气原理
2 数值模型
    2.1 控制方程
    2.2 几何结构及网格化
    2.3 参数设置
3 结果与讨论
    3.1 压强对电子密度的影响
    3.2 阳极电压和磁场强度对电子密度的影响
    3.3 压强对离子输运的影响
    3.4 理论与实验抽速结果分析
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]低气压条件下氢气潘宁放电的模拟分析[J]. 石磊,钱沐杨,肖坤祥,黎明.  物理学报. 2013(17)
[2]反应磁控溅射离子镀TiN膜的工艺参数[J]. 杨树贵,周卓.  东北工学院学报. 1987(03)
[3]溅射离子泵的抽速计算[J]. 何炜,王仁康,耿天鹏,胡国华.  真空科学与技术. 1982(04)



本文编号：3154347