弛豫铁电薄膜的脉冲激光方法制备及电性能研究

发布时间：2021-05-10 10:43

　　弛豫铁电材料因具有良好的铁电、压电、介电、热释电等性能,有望在集成铁电学、微电子学和微电子机械系统等领域中获得应用,因而成为国内外研究的热点材料。并且,薄膜相对块体具有响应更快、灵敏度更高、更好的与硅基集成等优势,因此,为了促进弛豫铁电薄膜的潜在应用,有必要对其进行深入的研究,进一步优化薄膜结构,提高薄膜性能。在本课题组前期工作基础上,本论文采用脉冲激光沉积方法开展弛豫铁电薄膜制备研究,主要研究内容如下:1.采用脉冲激光沉积方法（PLD）制备了（100）取向的外延弛豫铁电体0.7Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃-0.3PbTiO₃（PMN-0.3PT）薄膜,研究了沉积温度和溅射氧压对薄膜的结构与电性能的影响规律。首先采用PLD技术在SrTiO₃单晶衬底上、SrRuO₃电极上制备了具有纯钙钛矿结构的（100）取向的PMN-0.3PT外延弛豫铁电薄膜,研究了相和畴结构,铁电和压电性能以及漏电流特性,获得了良好的饱和电滞回线,结果表明,剩余极化强度高达30μC/... 

【文章来源】：上海师范大学上海市

【文章页数】：59 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
第1章 绪论
    1.1 引言
    1.2 压电/铁电材料概述
        1.2.1 压电材料
        1.2.2 铁电材料
    1.3 弛豫铁电材料概述
    1.4 弛豫铁电薄膜的近期研究进展
    1.5 本论文的提出与研究内容
        1.5.1 问题的提出
        1.5.2 研究内容
第2章 实验内容与实验方法
    2.1 实验内容
    2.2 陶瓷靶的制备
        2.2.1 实验仪器与主要原料
        2.2.2 工艺流程
    2.3 薄膜的脉冲激光沉积制备
        2.3.1 主要实验仪器
        2.3.2 工艺流程
    2.4 薄膜结构表征与电性能分析
        2.4.1 结构表征
        2.4.2 电性能表征
    2.5 本章小结
第3章 0.7Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.3PbTiO_3 外延铁电薄膜的制备及电性能研究
    3.1 引言
    3.2 PMNT/SRO/STO外延薄膜的制备及性能研究
    3.3 本章小结
第4章 Mn掺杂Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-Ba TiO_3 无铅铁电薄膜的制备及性能调控研究
    4.1 引言
    4.2 Mn-BNBT/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制备与电性能研究
    4.3 Mn-BNBT/LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制备与电性能研究
        4.3.1 LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si缓冲层的制备研究
        4.3.2 Mn-BNBT/LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制备及电性能研究
    4.4 本章小结
第5章 总结与展望
    5.1 总结
    5.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间所获得的成果
致谢



本文编号：3179227