磁控溅射制备Mn-Co-Ni-Mg-Al-O薄膜的电学与光学性能研究

发布时间：2021-06-07 21:48

　　以Mn,Co,Ni过渡族金属为主的尖晶石结构材料（AB2O4）是一种具有电阻随温度上升而指数下降的材料,它具有较高的温度-电阻系数（TCR）,工作温度范围和光谱的反应范围广,能够长期稳定工作等优点,老化性能好,被广泛应用于辐射热测量计,非致冷型红外探测仪和温度测量计等精确测量仪器上,近年来,为了适应极端条件下器件的使用,因此对器件的准确度以及灵敏度有了更高的要求,而可持续发展也对材料制备过程中的无污染,能耗小提出了更高的要求,并且器件的集成化对器件的尺寸提出了更新的要求。因此,相较于传统器件而言,灵敏度更高,尺寸更小的薄膜器件逐渐成为了 Mn-Co-Ni-O系薄膜器件的研究热点。具有良好的结晶性且物理性能比较稳定的过渡金属氧化物薄膜是制备出满足可靠性高,灵敏度高的薄膜器件的前提,在Mn基过渡金属氧化物系材料的制备方面,主要是以物理方法为主,由于高温固相合成法已经具备了较为成熟的工艺体系。因此本文以高温固相法合成Mg,Al掺杂Mn-Co-Ni-O系材料陶磁靶材作为基础,通过Mg,Al原子在尖晶石结构中的占位不同,来调控不同价态Mn离子的比例,以改变其电学性能及其光学性能。使用磁控溅射法溅... 

【文章来源】：陕西师范大学陕西省 211工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：61 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１－１小极化子跳跃导电模型示意图??

对发生衍射时位置的测量，通过比对标准卡片，进而对该物质进行定性和定量分??析，也可以通过衍射峰位强度与角度的变化关系，进行晶粒大小和晶体择优取向??的检测。其原理如图２－１０所示：??Ｉ－出射狭缝?ｆ＇＼??射＜一?１１?１＾－??＇Ｉ?１?Ｔ．?／?样??图２－１?Ｘ射线衍射原理图??Ｆｉｇ．?２－１?Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｔｈｅ?Ｘ－ｒａｙ??Ｘ射线在晶体中发生衍射，衍射角（峰位）与晶体结构的关系遵循布拉格方程：??２ｄ?ｓｉｎ?６?＝?ｎＸ?（２－１）??其中，；Ｉ为Ｘ射线的波长，０是衍射角，ｄ为晶面间距，＾为衍射级数（整数）；??其示意图如图２－１１所示：??９??

ＡＦＭ接触模式，轻敲模式，力调制模式等不同的工作模式，其中轻敲模??式以不损伤样品的优点被广泛采用。在本论文的研究中，也选用了轻敲的接触模??式。所用仪器如下图２－３所示。??１０??

【参考文献】：
期刊论文
[1]X射线衍射技术的发展和应用[J]. 杨新萍.  山西师范大学学报(自然科学版). 2007(01)



本文编号：3217371