基于AZO/metal/AZO的透明导电膜制备及性能研究

发布时间：2021-07-27 01:25

　　随着科学技术的发展,智能化设备的不断更新换代,人们对透明导电膜（TCO）性能的要求原来越高,单层结构的透明导电膜（ITO、AZO等）以其较低的导电性能早已不能满足生产需求。而对TCO复合膜的研究大多局限在对于中间功能层及两侧介质层材料的选择搭配及介质层材料掺杂比例的调整、溅射参数的调整、沉积条件的改变等方面。近年来,人们对TCO复合膜的研究还没有突破性进展,其光电性能提高不多,TCO复合膜的研究似乎已经到达了一个瓶颈期。因此,在TCO复合膜中加入Zr-Cu、Al-Ag籽层,使TCO复合膜金属层减薄,从而提升整个膜系光电性能,这一方法为改善TCO复合膜的性能开辟了一个新的思路,逐渐成为目前本领域的研究热点。本文使用磁控溅射方式在玻璃衬底上分别制备了AZO/Cu/AZO、AZO/Zr-Cu/Cu/AZO、AZO/Ag/AZO、AZO/Zr-Cu/Ag/AZO和AZO/Al-Ag/Ag/AZO透明导电复合膜。用四探针电阻率测量仪、可见分光光度计、原子力显微镜及扫描电子显微镜对试样的方阻值、可见光透过率、表面粗糙度和形貌进行了检测表征。同时探究了膜层厚度厚度、溅射电流、试片部位、溅射靶位置对上... 

【文章来源】：山东建筑大学山东省

【文章页数】：64 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
ABSTRACT
第1章 绪论
    1.1 透明导电膜的发展及分类
    1.2 ZnO基透明导电薄膜
    1.3 TiO_2基透明导电薄膜
    1.4 D/M/D结构透明导电薄膜
    1.5 Ag基复合膜的特点
    1.6 透明导电膜的应用
    1.7 透明导电膜的制备方法
        1.7.1 真空蒸发镀膜
        1.7.2 溅射镀膜
        1.7.3 化学气相沉积
        1.7.4 溶胶-凝胶法
        1.7.5 喷涂热分解法
        1.7.6 脉冲激光沉积
    1.8 非晶合金薄膜的形成
    1.9 课题研究意义及主要内容
第2章 实验及表征方法
    2.1 实验材料与设备
        2.1.1 实验材料
        2.1.2 实验设备
    2.2 实验流程
        2.2.1 基片的处理
        2.2.2 真空室的准备
        2.2.3 抽真空过程
        2.2.4 预溅射过程
        2.2.5 溅射镀膜过程
        2.2.6 取件过程
        2.2.7 低真空保护过程
    2.3 性能检测
        2.3.1 薄膜透过率
        2.3.2 薄膜方阻
        2.3.3 薄膜表面形貌
        2.3.4 薄膜的表面粗糙度
第3章 复合膜的光学计算
第4章 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO光学和电学性能研究
    4.1 Zr-Cu厚度对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响
    4.2 Cu膜厚度对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响
    4.3 Zr-Cu 溅射电流大小对 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 复合膜光学特性的影响
    4.4 AZO 厚度对 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 复合膜光学特性的影响
    4.5 试片部位对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响
    4.6 溅射靶位置对AZO/Zr-Cu/Cu/AZO复合膜光学特性的影响
    4.7 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO薄膜的表征
    4.8 本章小结
第5章 AZO/Zr-Cu/Ag/AZO光学和电学性能研究
    5.1 Zr-Cu厚度对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    5.2 AZO厚度对AZO/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    5.3 Ag厚度对AZO/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    5.4 Ag厚度对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    5.5 试片部位对AZO/Zr-Cu/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    5.6 本章小结
第6章 AZO/Al-Ag/Ag/AZO光学和电学性能研究
    6.1 Al厚度对AZO/Al-Ag/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    6.2 AZO厚度对AZO/Al-Ag/Ag/AZO复合膜光电特性的影响
    6.3 本章小结
第7章 总结与展望
    7.1 本文总结
    7.2 展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间论文发表及科研情况



本文编号：3304777