热流逸效应下不同截面形状微通道的流导特性分析

发布时间：2021-08-26 03:16

　　热流逸真空泵利用其内部微通道结构产生的热流逸效应来工作,故其本身也存在流导。本文建立了几种典型截面形状长微通道和短微通道的流导计算模型,进而分析了流导随努森数、温差及微通道特征尺寸变化的规律。结果表明,微通道在过渡流区域的流导比在自由分子流区域的大2～4个数量级;短微通道的流导性能优异长微通道的;绝大多数情况下,截面形状的对称性越强则其流导性能越好;在自由分子流区域,截面形状对流导的影响不大,但在过渡流区域,不同截面形状的流导差异显著。可见,应尽可能将热流逸真空泵设计在过渡流区域工作,且应优先采用截面形状对称性强的短微通道结构,但需要综合考虑努森数、温差和微通道特征尺寸之间的相互协同与制约。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2020,40(05)北大核心CSCD

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 热流逸真空泵中微通道的流导
    1.1 热流逸真空泵模型
    1.2 热流逸真空泵内微通道流导的数学模型
        1.2.1 长微通道
            (1)自由分子流区域
            (2)过渡流区域
        1.2.2 短微通道
2 热流逸效应下不同截面形状微通道的流导特性分析
    2.1 努森数对流导的影响
    2.2 温差对流导的影响
    2.3 微通道特征尺寸对流导的影响
3 结论



本文编号：3363430