一种小型离子泵电源的设计

发布时间：2021-08-29 17:40

　　真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战,小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势。本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案,介绍了系统组成与拓扑结构,给出了电路参数计算和分析说明,并对该电源进行工程上的测试验证。实践表明,该电源能适配多种型号的离子泵,工作稳定可靠。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2020,40(11)北大核心CSCD

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 系统结构
2 研制方案
    2.1 推挽电路与变压器设计
    2.2 高压电路设计
    2.3 采样电路设计
    2.4 保护电路设计
    2.5 输出特性控制电路设计
3 实验结果
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[3]基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究[J]. 崔寓淏,窦仁超,王凯,马永强,周雪茜.  真空科学与技术学报. 2019(02)
[4]离子泵电源的设计[J]. 陈卫彬.  医疗卫生装备. 2010(09)
[5]溅射离子泵开关电源的设计[J]. 张余进,邱实.  真空. 2007(05)
[6]微型复合溅射离子泵的设计研究[J]. 胡银富,齐京,陈旭.  真空科学与技术学报. 2007(01)
[7]国产溅射离子泵主要性能测试及现状[J]. 赵飞云,殷立新,殷明,周洪军,王勇,王秋平.  真空. 2004(06)
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本文编号：3371091