还原氮化法制备氮化铌薄膜及性能研究

发布时间：2021-09-12 17:54

　　以五氯化铌为原料,采用氨气还原氮化法制备出Nb₄N₅薄膜。利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN测试手段研究了薄膜组成、形貌和表面增强拉曼光谱性能。结果表明,薄膜中Nb₄N₅的结晶程度高,物相较纯没有出现其他的杂质,薄膜表面裂纹较少,颗粒粒径40 nm,膜厚210 nm,所合成的Nb₄N₅薄膜吸收光谱中在300～500 nm出现了等离子体共振吸收峰,红外区域反射率高于30%,薄膜方块电阻为552Ω/□,并具有较好的SERS活性。 

【文章来源】：江苏陶瓷. 2020,53(04)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

Nb4N5薄膜的XRD图谱

Nb4N5薄膜的SEM照片

Nb4N5薄膜的紫外-可见-近红外光谱(a)-(c)和拉曼光谱(d)

【参考文献】：
期刊论文
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[2]NbSiN薄膜的制备及光学性能研究[J]. 张易君,张粞程,栾明昱,曾陶,黄佳木.  激光与光电子学进展. 2017(03)
[3]不同沉积温度下V掺杂的TiN薄膜的结构和性能[J]. 吴玲,赵高凌,段钢锋,汪建勋,韩高荣.  功能材料. 2011(04)
[4]Sol-gel法制备铁电陶瓷厚膜的研究[J]. 冯博楷,范素华,张丰庆,张伟,马建平.  材料导报. 2007(11)
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博士论文
[1]NbC和NbN基薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学行为的研究[D]. 张侃.吉林大学 2014



本文编号：3394676