Al 2 O 3 （0001）基底MgB 2 /B/MgB 2 多层膜的制备及性质

发布时间：2021-12-08 23:05

　　本文介绍了应用混合物理化学气相沉积（HPCVD）制备MgB₂薄膜技术,以B膜作为势垒层在单晶Al₂O₃（0001）基底上制作了纵向三明治结构的MgB₂/B/MgB₂多层膜.采用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射（XRD）和标准四线法对获得的MgB₂/B/MgB₂多层膜断面结构、超导薄膜晶体结构及超导特性进行了测量研究.实验结果表明,制备的MgB₂/B/MgB₂多层膜结构清晰,底层和顶层超导薄膜显示出良好的超导特性.

【文章来源】： 低温物理学报. 2016,38(05)北大核心CSCD

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 引言
2 实验过程
3 结果分析与讨论
4 结论



本文编号：3529419